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发表于 2007-11-6 19:15:18
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.特點:
2 w6 ?5 b q5 j) s9 [, [A).根據蒸發形式和蒸發速率的要求,采用以下不同形式的電子槍電源:
0 e3 o; o0 m1 k6 z; V+ OJST-3F: 3KW( -6 KV, 0.5 A)4 v- |& i. ^; v6 Z" t, h
JST-10F:10KW( -10KV, 1A)
b( j1 }8 o$ Y8 U- G* W$ kJST-16F:16KW( -10KV, 1.6A)
9 U5 w% J- Q8 a2 ] U% s0 U0 k$ PB).JST-F是一種用SCR控制、省能的電子槍電源櫃.
, v: r9 D, v2 z( j! L3 \C)如果安裝了抑制放電單元(ST-AS10F),則在很短的時間將放電抑制,而且將放電產生的信號幹擾,降低至5%到10%之內.% w2 o# `6 p+ J
D).整個裝置提供了14針輸入和9針輸出.如果增添了其他選項,則可以提供39針輸入和18針輸出,以便提高系統的自動化程度.' P+ ^9 L W7 v7 t3 b
E).外部掃描控制信號采用0到+10V的直流電壓.5 r: E" z; G |* A/ \6 g
F).外部發射控制信號采用到0到-10V直流電壓,為了提供發射控制的精度,使用了粗調和微調旋鈕.
2 [1 |* o$ R. h$ h" g6 j( Q(當選用微調時,可以將發射電流從最大調到最小)
; w+ ~9 _7 h; b3 J2 MG)在控制器上安裝了X/Y位置控制單元,X/Y掃描控制單元以便控制電子束的位置和大小.
7 p1 r. H& n' A5 C3 O利用很長的電纜連接控制器和X/Y位置控制單元,X/Y掃描控制單元,這樣可以方便邊觀察藥點邊調整其大小和位置. |
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