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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › MarkII离子源的接地问题
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[求助] MarkII离子源的接地问题

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zyp
发表于 2006-11-6 05:42:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
MarkII离子源的接地问题# E- C( l0 w1 R/ c/ ^4 f+ d0 D
我问一下，在真空室内，MarkII离子源的阳极是否接地？阴极是否接地?还是一个接地？是那个？谢谢！！！
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发表于 2006-11-17 06:19:43 | 显示全部楼层
阴极接地
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