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[求助] 蒸镀ti3o5加氧与不加氧

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发表于 2006-11-4 09:03:03 | 显示全部楼层 |阅读模式
有的AR膜层蒸镀时,第一层不加氧,而第二层却加氧,TI3O5本来就缺氧,不就有吸收了吗,为什么还不加氧呢?这是设计上的原因还是工艺上的呢?  V! I- T0 u3 o5 [5 y
望各位大侠指点!

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204
发表于 2007-4-25 16:21:44 | 显示全部楼层
第一层不加氧.............附著层
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发表于 2005-12-29 13:07:58 | 显示全部楼层
加氧,加氧后T3O5 就可变成TIO2,不过也得看设计值中每层的折射率.
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发表于 2008-6-5 21:52:24 | 显示全部楼层
第一层不加氧气?这样镀膜不会变黑吗?
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发表于 2009-2-11 22:37:39 | 显示全部楼层
你的增透膜是什么波段的?
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发表于 2009-3-28 03:34:29 | 显示全部楼层
路过 学习!
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发表于 2009-7-8 20:27:21 | 显示全部楼层
工艺需要,只是不同的氧分压会做出来不同的折射率膜层
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发表于 2009-7-11 15:27:25 | 显示全部楼层
一般来说,第一层Ti很薄,对工艺要求很严,不加氧厚度控制会准确一些,由于太薄
2 w, E0 V" [& J( r3 k$ O) Y不充氧,吸收也会很小。
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发表于 2009-7-14 15:36:27 | 显示全部楼层
学习了,谢谢
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发表于 2009-7-22 20:28:56 | 显示全部楼层
学习  顶》》》顶》》》
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