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[求助] 蒸镀ti3o5加氧与不加氧

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发表于 2006-11-4 17:03:03 | 显示全部楼层 |阅读模式
有的AR膜层蒸镀时,第一层不加氧,而第二层却加氧,TI3O5本来就缺氧,不就有吸收了吗,为什么还不加氧呢?这是设计上的原因还是工艺上的呢?2 E5 ^. |$ t) @+ I, V
望各位大侠指点!
发表于 2007-4-26 00:21:44 | 显示全部楼层
第一层不加氧.............附著层
发表于 2005-12-29 21:07:58 | 显示全部楼层
加氧,加氧后T3O5 就可变成TIO2,不过也得看设计值中每层的折射率.
发表于 2008-6-6 05:52:24 | 显示全部楼层
第一层不加氧气?这样镀膜不会变黑吗?
发表于 2009-2-12 06:37:39 | 显示全部楼层
你的增透膜是什么波段的?
发表于 2009-3-28 11:34:29 | 显示全部楼层
路过 学习!
发表于 2009-7-9 04:27:21 | 显示全部楼层
工艺需要,只是不同的氧分压会做出来不同的折射率膜层
发表于 2009-7-11 23:27:25 | 显示全部楼层
一般来说,第一层Ti很薄,对工艺要求很严,不加氧厚度控制会准确一些,由于太薄
' Y1 \4 t1 j; U6 b& U+ Z7 i不充氧,吸收也会很小。
发表于 2009-7-14 23:36:27 | 显示全部楼层
学习了,谢谢
发表于 2009-7-23 04:28:56 | 显示全部楼层
学习  顶》》》顶》》》
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