规整膜系层厚允许误差的研究

xx_912 · 发表于 2006-9-30 21:06:08

摘　要:提出了一种通过计算机模拟薄膜的淀积过程来计算规整膜系层厚允许误差的方法，所计算的层厚允许误差不仅取决于膜系的设计结构，还与薄膜的淀积工艺、镀膜设备的监控精度有关．实验结果表明：采用这种方法所计算出的层厚允许误差对于薄膜的实际镀制具有指导意义．

关键词:规整膜系层厚允许误差薄膜淀积计算机模拟光学薄膜

分类号:　O484.41 O484.1[机标]文献标识码：文章编号：相关文献:主题相关

hithy · 发表于 2006-9-30 21:34:32

楼主辛苦辛苦了

macproboy · 发表于 2006-11-18 13:10:33

我选择.我喜欢!我顶先!

aaoe · 发表于 2006-12-1 16:46:53

[s:1] 谢谢了!

xpizwj · 发表于 2006-12-3 00:01:42

好感谢楼主

xxjun · 发表于 2006-12-24 14:47:31

这是很不错的一篇

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