重点论文:薄膜应力研究进展

xx_912 · 发表于 2006-9-24 17:16:42

[/free] 薄膜应力对薄膜性能具有重要的影响。主要介绍了薄膜应力形成机理和应力实验的研究进展,并探讨了薄膜应力研究的发展趋势。通过选择适当的工艺条件以及表面处理可以改变薄膜的应力分布,提高薄膜的性能。
Influence of thin film stress is very significant on thin film properties.The progress of thin film stress development mechanisms and stress experimental study is introduced.The dominant direction of the study of thin film stress is discussed.Through the selection of processing parameters and surface modification.The distribution of thin film stress is possible changed and thin film property is improved.

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wandao008 · 发表于 2006-9-25 16:33:23

非常好的文章

zhw21st · 发表于 2006-10-4 15:52:44

不错的文章

glass114 · 发表于 2006-10-25 04:17:39

没钱买不了

zhw21st · 发表于 2006-10-25 14:16:57

再感谢一次

shj1128 · 发表于 2007-9-21 14:26:05

我想看看！！！

cheng003 · 发表于 2007-9-22 00:49:13

再感谢13575

gzcskj · 发表于 2007-11-6 06:17:14

这么贵呀我看看买不买的起

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