膜厚控制系统和薄膜沉积设备及自适应光学系统

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上海梦溪机电设备有限公司依托中国科学院强大的技术实力，整合欧美等国先进的光学测量及真空镀膜优势，全方位的为中国大陆光电及半导体行业服务。我公司是多国著名品牌产品的中国独家代理商。
2 F/ [3 ?3 r: j* m4 \& |& q主要产品如下：CFM 溅射镀膜机；PECVD 镀膜机；IL 光学膜厚控制系统；IL820晶体膜厚控制系统；自适应光学系统；哈特曼传感器；变形镜；特种溅射靶材；特种蒸发膜料；LEP 干法刻蚀监测仪。
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