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膜厚监控的方法

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发表于 2006-8-24 01:22:04 | 显示全部楼层 |阅读模式
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$ [9 c& \. E$ w" z# f" z! k<title>真空镀膜机的操作系统中</title>5 r3 ]4 Y: _& B; t* V# ^

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# V) S( r( ?2 Q# ^- J* J<p style="line-height: 150%"><font size="2">真空镀膜机的操作系统中,最关键最直接的部份首推膜厚监控系统&#46;而当今各厂家所使用的镀膜机监控系统据吾个人所知,不外以下三种: </font></p>( Y5 x! @8 q) \+ X

& I3 g. b  i& `9 x( ]<p style="line-height: 150%"><font size="2">一,微电脑数控式&#46;利用微电脑设定来控制膜料的输出功率与输出量&#46;此方法操作起来最为简捷明了所镀的膜厚也最为均匀&#46; <br>
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   缺点:无法测得真实的膜厚记录,故此方法一般仅用于溅镀机&#46; </font></p>
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<p style="line-height: 150%"><font size="2">二,水晶振动子式&#46;一般采用二个或更多(以备不测),用此方法所测得结果较准确&#46;但因其本身非常敏感,故极易受外界因素影响&#46; </font></p>
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# W% u6 @) r3 `<p style="line-height: 150%"><font size="2">三,光电式&#46;一般采用蓝光玻璃&#46;因其本身一块即可分成几部份使用,故一般只备用一个玻璃槽即可&#46;用此方法测得结果较为稳定&#46; </font></p>
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! Z% z$ J" t. _& G) s<p style="line-height: 150%"><font size="2"> 不过现在好象又有一种新的监控系统,是利用数控与光电相结合式的,相信其会给我们带来更为准确便捷直观的一种新的革命&#46;
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