薄膜的应力控制技术研究现状

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　　摘　要：薄膜应力普遍存在于薄膜元器件中,从而影响薄膜器件性能,限制了其良好的应用前景.所以控制薄膜的应力,消除其不良影响,是薄膜生产工艺中不可或缺的技术手段.本文对此详细阐述了几种常用的薄膜应力控制方法,并对以后研究工作的开展提出几点要求.
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　　关键词：薄膜;应力;控制技术

% f- G8 n# {( F 　　分类号：O484.2　文献标识码：A

　　文章编号：1672-7126（2008）增刊-017-05
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0 t) I1 Y" {" y2 _/ p  l) w Stress Release and Control of Thin Films materials Used in Devices Fabrication
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Jiang Zhao　 Chen Xuekang

/ [0 D8 t2 r2 v6 b 　　蒋钊,联系人:Tel:13893225634;E-mail:qqq-128@163.com
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! @) x' F3 a" l9 j& _* ~' ~: M 　　作者单位：蒋钊（兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,兰州,730000）

% K2 r! k: G6 h, w1 Y, M. _, P2 l- _ 　　陈学康（兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,兰州,730000）

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