超高真空比对校准系统的指标测试与模拟校准

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超高真空系统极限真空度的测试
           动态法超高真空比对校准系统装置开机工作正常后，首先对校准装置进行烘烤除气，从室温开始加热，以30 ℃/h 升温，10 h 后超高真空系统的烘烤温度升为300 ℃；打开NEG 泵角阀，激活NEG 泵（激活温度为500 ℃，激活时间2 h），然后关闭NEG 泵角阀。在300 ℃的温度下维持8 h 后，以30 ℃/h 的速率降温，10 h 后降到室温；打开NEG 泵角阀对校准容器抽气，校准装置的真空度稳定后测得极限真空度为4.9×10-9 Pa。
- l' F; a6 l2 ]$ Q& |! s2 D  超高真空系统校准范围的测试
  D9 k: u% ]4 V* [           用超高真空微调阀（15）调节稳压室中的压力，注入到校准室中，每个量程选择3个校准点，观测微调阀是否能够调出所要求校准范围的压力点。压力点的读数采用经校准过的IE514 型分离规，数据见表1。
  

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+ F3 y; M$ {! z6 p" H5 e$ D  I7 T  表1 校准范围调节读数表
6 P" k6 [8 K; y7 A1 _; D           从数据可以看出，能够满足校准范围的调节，超高真空微调阀的行程和均匀性都非常好，可在校准范围内调节所需的任一压力校准点。
  合成标准不确定度的评定
. j) E! O4 X+ [  G# p, q           参考规选用IE514 型分离规，经超高/极高真空校准装置校准的合成标准不确定度为2.5%。本底引入的不确定度为1.8%，统计不确定度为0.54%，则合成标准不确定度为3.2%，扩展不确定度9.6%（k=3）。
  模拟校准
           在动态法超高真空比对校准系统上，用分离规作参考标准对超高热阴极电离真空计进行比对模拟校准，主要验证微调阀的行程和稳定性，以及是否能够满足实际的超高真空规的校准。具体在每个量程按3 个校准点进行校准，共校准3 个量程9 个点，完全能够覆盖该装置的校准范围，校准数据见表2。
  

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  表2 模拟校准数据
6 L4 C, D0 u' L6 R           超高真空相对比对校准装置，可以用于超高真空规的动态直接比对校准，结束过去用线性外推法进行超高真空规的校准，能够确保国防科技工业在超高真空区域真空量值的传递和统一。
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