超高真空比对校准系统的指标测试与模拟校准

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超高真空系统极限真空度的测试
           动态法超高真空比对校准系统装置开机工作正常后，首先对校准装置进行烘烤除气，从室温开始加热，以30 ℃/h 升温，10 h 后超高真空系统的烘烤温度升为300 ℃；打开NEG 泵角阀，激活NEG 泵（激活温度为500 ℃，激活时间2 h），然后关闭NEG 泵角阀。在300 ℃的温度下维持8 h 后，以30 ℃/h 的速率降温，10 h 后降到室温；打开NEG 泵角阀对校准容器抽气，校准装置的真空度稳定后测得极限真空度为4.9×10-9 Pa。
  超高真空系统校准范围的测试
. B1 K/ R- z, M1 n, f; a           用超高真空微调阀（15）调节稳压室中的压力，注入到校准室中，每个量程选择3个校准点，观测微调阀是否能够调出所要求校准范围的压力点。压力点的读数采用经校准过的IE514 型分离规，数据见表1。
  
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  表1 校准范围调节读数表
4 P' P. r* n2 V% A           从数据可以看出，能够满足校准范围的调节，超高真空微调阀的行程和均匀性都非常好，可在校准范围内调节所需的任一压力校准点。
6 g' E1 q* a# O! a  合成标准不确定度的评定
3 R" o+ g8 _" x           参考规选用IE514 型分离规，经超高/极高真空校准装置校准的合成标准不确定度为2.5%。本底引入的不确定度为1.8%，统计不确定度为0.54%，则合成标准不确定度为3.2%，扩展不确定度9.6%（k=3）。
  模拟校准
4 C0 @/ }- `' F: {) K* W           在动态法超高真空比对校准系统上，用分离规作参考标准对超高热阴极电离真空计进行比对模拟校准，主要验证微调阀的行程和稳定性，以及是否能够满足实际的超高真空规的校准。具体在每个量程按3 个校准点进行校准，共校准3 个量程9 个点，完全能够覆盖该装置的校准范围，校准数据见表2。
  
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9 \2 \+ j1 W4 V( T+ L5 ]  表2 模拟校准数据
& b  c! O$ _$ y( C: M           超高真空相对比对校准装置，可以用于超高真空规的动态直接比对校准，结束过去用线性外推法进行超高真空规的校准，能够确保国防科技工业在超高真空区域真空量值的传递和统一。
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