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一、 概述$ ^: n j6 w! L' }' T
DL-10型真空计是石英晶振真空计。它的量程较宽,精度较高。该真空计由规管与控制单元组成,控制单元的数码管显示压强值。7 p) N- O# ^ J: [
二、 技术要求
& o! m" O9 v- y* |+ }: d1 y# P& } 1、 测量范围:10-105Pa
2 h. a8 H- \; ~2 J- t/ m 2、 电源:交流 220V,50Hz7 L# ^2 @" s5 R: Y7 q) l
3、 功率:7W
' a( k4 |3 t9 b6 d 4、 机箱尺寸:200×90 ×160mm(宽×高×深)' F; ]7 F* W) U2 D/ C
三、 原理
9 R. n7 M1 D& {) K DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与 气体压强有关的特性做的真空计。石英晶振装在铝壳中做成规管,管 径为15.5mm,可通过接口插入系统。谐振阻抗的测量电路如图1所示 :- ?7 w. {2 Y; s4 M5 ^
7 W& R2 Q- a4 n" A
0 @' R& g. T) T# T3 B0 H+ l6 V VAB为晶振两端电压
% H" @$ I% F$ Z+ J/ o/ U3 ~& { I 为流过晶振的电流
8 c% r* {! H0 M' v9 [ 电流I流过与 晶振串联的电阻R,在电阻两端的电压为VBD
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- ~+ d" q! W( ] VAB 近似等于AC两端电压 V0,VBD近似等于DC两端电压V1,由测量的 V0,V1值及电阻值,可以计算出阻抗。单片 机将阻抗转换成压强,由数码管显示压强值。( t) Y8 z3 G. i% l0 C
四、DL-10真空计的安装
6 a" D, x: `+ X7 v DL-10真空计的安装如图2所示:
$ D( q3 y5 n+ l& R8 [' C 6 w9 h5 y* Q7 `! I
石英晶振及振荡电路放在探头内,引线电缆通过 5芯插头插入控制单元后面板的插座内,探头Φ15.5直径的管道插入 真空系统。电源电缆一头插入控制单元后面板插座,另一端插入电源 插座。电源插座应含接地线,使控制单元机箱接地。打开电源开关, 控制单元数码管显示压强值。数码管显示3.2 E 2 表示压强值 为3.2×102Pa 。8 L/ _6 y3 m! J+ I9 H
五、校准9 I, b. j8 i0 Z
当环境温度变化时,应对DL-10进行校准,校准方法如下:* A: J* R3 v' @, e+ [+ p( E
1、大气校准:在规管压强为大气时,用改锥按 压控制单元前面板大气孔内的按键,松开后即可。
! ~7 [0 S' X/ k% C3 \ 2、零点调节:在规管压强小于1×10- 2Pa时,用改锥按压控制单元前面板零点孔内的按键,松开后 即可。7 O. L+ {* n0 A8 K! q( S$ T- o
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DL-10型真空计产品使用说明书
5 v1 S: b! ~+ q 石英真空计的工作原理与测量范围 |
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