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一、 概述7 h. E* L: K& j& C3 E- \
DL-10型真空计是石英晶振真空计。它的量程较宽,精度较高。该真空计由规管与控制单元组成,控制单元的数码管显示压强值。
2 y& X \( S% b( n 二、 技术要求
) z' a) t: }- E7 C- `, c( x7 C 1、 测量范围:10-105Pa! o7 v( a/ C1 G+ Z' s: c- o
2、 电源:交流 220V,50Hz
4 Z+ E4 {* x# x5 V! N( Y& i @0 z 3、 功率:7W6 e! f! |, O5 \' w6 g
4、 机箱尺寸:200×90 ×160mm(宽×高×深)# y# K# O/ P) _
三、 原理
7 r- D" g5 V, U! } DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与 气体压强有关的特性做的真空计。石英晶振装在铝壳中做成规管,管 径为15.5mm,可通过接口插入系统。谐振阻抗的测量电路如图1所示 :
& T: W& ^- J e, F
& y' u! H0 ?7 x+ x
, q/ ^* R; Z | X5 N0 U" `7 f VAB为晶振两端电压
; x/ }+ |5 `! f( @" v3 ` I 为流过晶振的电流/ y, N' [* \( A9 f
电流I流过与 晶振串联的电阻R,在电阻两端的电压为VBD" d/ _4 ?( q" q" X6 A( X: l
+ E( A3 R8 g& T) v
VAB 近似等于AC两端电压 V0,VBD近似等于DC两端电压V1,由测量的 V0,V1值及电阻值,可以计算出阻抗。单片 机将阻抗转换成压强,由数码管显示压强值。 y' o/ _. a! `- F7 R; X7 _
四、DL-10真空计的安装- Y2 t! l' c( J& p7 O( c6 V: q7 @9 A- w
DL-10真空计的安装如图2所示:
1 a+ p4 c5 k+ I5 b% l 1 c5 @1 U. R; E' d2 ]) \
石英晶振及振荡电路放在探头内,引线电缆通过 5芯插头插入控制单元后面板的插座内,探头Φ15.5直径的管道插入 真空系统。电源电缆一头插入控制单元后面板插座,另一端插入电源 插座。电源插座应含接地线,使控制单元机箱接地。打开电源开关, 控制单元数码管显示压强值。数码管显示3.2 E 2 表示压强值 为3.2×102Pa 。
4 X1 L& W" o8 Y* T9 ]# L7 X+ x 五、校准! `/ k q1 [0 k8 z2 B3 ]) l* ~
当环境温度变化时,应对DL-10进行校准,校准方法如下:
" t. @1 k% [( C0 N" R/ I9 q 1、大气校准:在规管压强为大气时,用改锥按 压控制单元前面板大气孔内的按键,松开后即可。# C& o6 D* K# @, L
2、零点调节:在规管压强小于1×10- 2Pa时,用改锥按压控制单元前面板零点孔内的按键,松开后 即可。
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DL-10型真空计产品使用说明书
: U4 L/ K3 o( `% B0 q 石英真空计的工作原理与测量范围 |
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