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真空测量的特点9 s0 U* l( z, ~) P
(1)测量压力范围宽,为105~ 10-14 Pa。
- E5 R4 ?' }3 c( j (2)大部分真空计是间接测量,只有压力为105~ 10Pa时,可直接测单位面积所受的力。但大多数真空测量的压力比上述要小,不能直接测量,应利用低压下气体的某些特性(如热传导、粘滞性和电离等)进行间接测量。
; I- S( I9 Q& C, w (3)多采用非电量电测技术。由于非电量电测技术具有灵敏度高、反应迅速、可实现自动和远距离测量,因此,大部分真空计采用这一方法。电子式真空计是由真空测量规管和电子测量电路(控制和指示单元)两部分组成。规管是敏感元件,它利用气体在低压下的某些特性将非电量的气体压力转变成电信号,再由测量电路将规管输出的电信号进行放大和显示。必要时,将输出信号送至自动记录仪和自动控制设备中,实现真空设备自动化。规管将非电量压力转变成电量所需的条件,由测量电路的控制单元提供。 - S: d# R8 y6 J6 k" p9 W
(4)部分真空计的读数与气体种类和成分有关。所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分,否则会造成很大误差。/ y: h; y& |3 T& M# a
(5)测量精度不高。在间接测量压力过程中,往往需要外加能量来协助。外加能量可能是热能、电能、机械能和放射能等。这样,在引入外加能量的同时,也不可避免地引进了测量误差。因此,真空测量仪表的精度比其他物理测量仪表要低。如真空测量基准仪表和标准仪表的不确定度为(2 ~ 10)×10-2,工作仪表的测量误差在 ±20 ×10-2以内就很好了。 选择真空计的原则2 x# m$ H$ K" y, j5 Y. R
各种真空计都有这样或那样的问题,仅就适用的压力范围而言就相当复杂。选择真空计需要相当丰富的知识,可按如下顺序考虑:0 n. N$ w0 K- b5 X
(1)在要求的压力区域内有要求的精度。
) v" g4 g" q! S$ E6 T% A! S (2)被测气体是否会损伤真空计?真空计会不会给被测气体状态带来影响?
; `( k6 t7 t4 Y# m% N! F+ p (3)能测全压力吗?可校准吗?灵敏度与气体种类是否有关?& K- S# u7 X1 A6 t
(4)可否连续指示、电气指示以及反应时间长短怎样?
& d* p& @& r: B. C! g$ Z; Q (5)稳定性、复现性、可靠性和寿命如何?+ D; B8 ^) k% D4 r" T5 J
(6)真空计的安装方法,操作性能、保修、管理、市场情况,购买的难易程度和规格等。
1 Z4 A& j& J G3 K 除考虑上述问题外,还要查阅参考书、样本或直接向生产厂家、供应商查询。 |
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