氙气质量流量计校准装置的设计

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氙气质量流量计校准装置的设计
  赵澜 冯焱 成永军 魏万印 张瑞芳 孙雯君
. p1 j+ }: B- `! x1 D1 K3 K  (兰州空间技术物理研究所，甘肃 兰州 730000)
3 [$ F# B6 W0 D$ n; x/ T+ }  　　摘要：设计了基于定容法的氙气质量流量计校准装置，装置由校准室系统、测量系统、供气系统、抽气系统及数据采集系统等五部分组成。
  　　在设计时，校准室采用全金属结构，可以整体烘烤，减小漏放气影响;
  　　采用了高精度的电容薄膜规、铂电阻温度计作为测量仪器，保证压力及温度测量的准确性;
0 v: K7 B& R. G  　　供气系统中设计两个稳压容器，既保证测量中一定的入口压力，又保证对系统进行清洗和充气的气源;
  　　抽气系统采用分子泵和机械泵串联抽气，提高真空系统的本底;
  　　采用计算机采集压力、温度及时间的数据，保证数据的可靠性。
! y# W( U3 B: M1 A3 o  ~) S  　　装置的预计气体流量测量范围(5.1×10-4～1.0)Pa·m3/s，Xe气对应的质量流量测量范围为(2.89×10-2～5.78×101)mg/s，标准不确定度为1.2%。