微压式数字活塞压力计测量不确定度的评定

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微压式数字活塞压力计测量不确定度的评定
6 W$ V% Z9 R' Q0 T! f- N  魏万印，李得天，冯焱，成永军
  (中国航天科技集团公司五院510 所)
  　　摘要：粗低真空校准技术广泛应用于航空航天等高科技领域。中国航天科技集团公司五院510 所建立的粗低真空校准装置的核心是数字活塞压力计，在30Pa-11kPa 校准范围内采用了Furness 公司的FRS5 微压式数字活塞压力计作为主标准器。
2 x# U. a* x8 v, [* h) b  　　本文分析了FRS5 微压式数字活塞压力计在绝压模式下的测量不确定来源，并对各项不确定度分量进行了评定，最后给出了测量不确定度。