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双枪镀膜机均匀板的修整方法
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; L+ j, v/ y! f1 s9 M! W% L1 b对与带有双电子枪的镀膜机来说，修整高、低折射率材料的膜厚之比很是麻烦。但是我介绍的这种方法，简单实用，一步到位，希望对大家有帮助！ e& M/ l# l; q5 Y0 I {( d; n2 i) W
1、镀一个7层的1/2波长厚度的膜系：2H2L2H2L2H2L2H，由于它在监控波长处全为虚设层，故透射率为极大，而其两侧的两个透射极小值峰对高、低折射率误差极为敏感。5 e1 s2 l# p' K: ~2 c% c
2、若低折射率层偏薄，则短波侧的透射率降低而长波侧的透射峰升高，反之亦然。* I9 Q5 Z4 w" H" u6 ~( d- ^
3、由此不仅可以了解膜厚均匀性，而且可知高低折射率膜的厚度比是否正确。 |
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发表于 2014-6-2 08:11:33
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