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我们最近镀的窄带出现无规律漂移。
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1 F1 w" y( |+ f# v机器:光驰OTFC-1100,2007年买的。光学间接监控,晶控辅助,离子源,控制波长1084NM。
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膜料:sio2,ta2o5.) c- x' `) X3 B7 ?* C
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膜系要求:1064NM在0°12°15°,T>80%。这样就设计出来一个半波在20NM左右的一个窄带,0°中心波长在1073nm。我们设计的膜系是44层。; S( r; q. U( W2 {0 L9 k8 N
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现象:无规律的偏薄或者偏厚5~20NM,这样膜就用不成了。经常前一罩完全正常,后一罩就漂移了。也有连着好几罩正常,突然出现漂移的。出现漂移后,我们修改控制波长进行修正,会出现膜系完全和上罩曲线一样,没动的现象。再修改控制波长,,膜系会移动两次修正之和的位置。有点乱啊,呵呵,举个例子啊,这次是中心波长在1078,我控制波长移薄5个,正常的话出来的中心波长应该在1073,结果出来中心波长还在1078,然后我又移薄5个,这次出来的中心波长却是在1068位置。好几次都是这样。但是 镀截止膜的时候几乎没出现过这种情况。
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$ P& X/ e- K$ d9 Q0 h解决办法:1.先是怀疑单色仪有问题,换来厂家的装上,没解决。
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2.我们有红外单色仪,换上用红外波长控制,没解决。
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3.换控制波长,波长换到700,没解决。
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8 y4 n. o/ J2 s* c6 t6 s. U 4.厂家说可能是装光控片的托盘时间长变形了,买来新的换上,用平行度小的光控片,没解决。
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4 b" Z. G8 A/ L" t1 w 5.怀疑离子源问题,买来新的栅网换上,没解决。& H, F9 h: d: Q7 c! Z6 p. ?
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6.更换旋转架滚珠,没解决。
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$ ~5 a" i7 {, i( ]. K4 w4 I+ D 7.更换修正板,没解决。
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/ w/ h2 f1 x- \+ s1 C! G 8.测量温度,正常,没解决。$ j& q" B) u' L4 _! g, x6 L" N
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目前就实验了这么多办法,实在想不出来了,各位同行有没有好的提议,大家都来讨论交流一下。6 }1 w9 T3 @4 }* `
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