各位同行，请教一下窄带无规律漂移现象。

haisheng_0_0 · 发表于 2014-3-18 03:42:26

我们最近镀的窄带出现无规律漂移。

机器：光驰OTFC-1100，2007年买的。光学间接监控，晶控辅助,离子源，控制波长1084NM。

膜料：sio2,ta2o5.

膜系要求：1064NM在0°12°15°，T>80%。这样就设计出来一个半波在20NM左右的一个窄带，0°中心波长在1073nm。我们设计的膜系是44层。

现象：无规律的偏薄或者偏厚5～20NM，这样膜就用不成了。经常前一罩完全正常，后一罩就漂移了。也有连着好几罩正常，突然出现漂移的。出现漂移后，我们修改控制波长进行修正，会出现膜系完全和上罩曲线一样，没动的现象。再修改控制波长，，膜系会移动两次修正之和的位置。有点乱啊，呵呵，举个例子啊，这次是中心波长在1078，我控制波长移薄5个，正常的话出来的中心波长应该在1073，结果出来中心波长还在1078，然后我又移薄5个，这次出来的中心波长却是在1068位置。好几次都是这样。但是镀截止膜的时候几乎没出现过这种情况。

解决办法：1.先是怀疑单色仪有问题，换来厂家的装上，没解决。

            2.我们有红外单色仪，换上用红外波长控制，没解决。

            3.换控制波长，波长换到700，没解决。

            4.厂家说可能是装光控片的托盘时间长变形了，买来新的换上，用平行度小的光控片，没解决。

            5.怀疑离子源问题，买来新的栅网换上，没解决。

            6.更换旋转架滚珠，没解决。

            7.更换修正板，没解决。

            8.测量温度，正常，没解决。

目前就实验了这么多办法，实在想不出来了，各位同行有没有好的提议，大家都来讨论交流一下。

haisheng_0_0 · 发表于 2014-3-20 11:19:47

自己顶一下，有经验心得的同行，来讨论一下啊

ww040109117 · 发表于 2014-3-21 08:06:36

我觉得在真空方面和膜系结构方面再看看，我以前也碰到过

haisheng_0_0 · 发表于 2014-3-22 10:37:23

ww040109117 发表于 2014-3-21 16:06( H! G! T5 X! p# g& v2 [7 `
我觉得在真空方面和膜系结构方面再看看，我以前也碰到过

谢谢回复啊，终于有人回复了。这个膜系已经用了6,7年了，这是近期才出来的现象，真空抽速我们也有时间记录，基本没大的差别。能不能具体点？

ww040109117 · 发表于 2014-3-23 00:32:24

真空方面的话并不是说她偶尔快偶尔慢的现象，因为我们以前也是抽真空时间方面都很正常，但就是老是忽长忽短，然后将设备内的所有护板全部清洗后，再高温烘烤后，就会好

haisheng_0_0 · 发表于 2014-3-26 01:54:49

ww040109117 发表于 2014-3-23 08:321 Q, y+ ^* j: P) P! u
真空方面的话并不是说她偶尔快偶尔慢的现象，因为我们以前也是抽真空时间方面都很正常，但就是老是忽长忽短 ...

哦？还有这种情况？我回头仔细观察一下。谢谢谢谢。我们以前一个周期是10罩，到期就换。

ww040109117 · 发表于 2014-4-15 00:09:10

最近情况怎么样？有改变吗
？
.

haisheng_0_0 · 发表于 2014-4-18 02:09:07

无效！让大家失望啦，准备让厂家来

cqzxcl · 发表于 2014-5-14 03:02:34

跟材料的高低和离子源的功率大小应该也有关，尽量保证同一性，还有就是真空室的洁净度，越脏的话波长会偏长的，我也有遇到过这种产品。

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