LED UV光刻光源

蓝谱里克

深圳市蓝谱里克科技有限公司，致力于提供紫外线全行业解决方案，我们的芯片光谱覆盖紫外全波段265nm 280nm 310nm 340nm 365nm 375nm 385nm 395nm 405nm。在集成电路制造领域我们进行了长期的探索和研究，研制开发了系列LED UV光刻光源产品，在线性精密扫描曝光和面形整体曝光领域已得到应用，随着研究进一步深入，LED UV光刻光源会更加完善！
- X5 {* }6 {/ g3 H3 f* f
, ~5 o8 Y- R7 qLED UV光刻光源的优势：
+ f! A7 h6 b5 h( m# m1.LED UV光谱集中、能量集中
2.专利光学配光，保证光照均匀
4 k% f( s4 |8 ^0 A3 p- |! @' k0 l3.大功率芯片集成，保证紫外能量充足                          
4 _% e% m$ p0 z2 s5 I4 K4 S: U4.冷光源照射，热辐射很小
- B; F$ G9 Y, x1 n4 M# t5.即开即关、无需预热
- \9 K2 J$ _3 Z, j

蓝谱里克

LED UV光刻光源产品在线性精密扫描曝光和面形整体曝光领域已得到应用