DL-6A型电阻真空计的误差

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　　本文介绍DL- 6A 型电阻真空计的误差。DL- 6A 型电阻真空计测量范围是10-1~105 Pa，在10~5×103 Pa，误差为10%，在小于10 Pa 和大于5×103 Pa 误差为35%。
  　　电阻真空计以它的量程宽着称，它的量程是10- 1~105 Pa ，因而减小它的误差引起很多人的注意。陆国柱等人曾对电阻真空计的误差进行了理论分析[]。随着电子技术的发展， 真空计的误差也随着减小，例如：ULVAC 公司SPX 型号在1~104 Pa， 精度为±15% ， 在0 .1~105 Pa 精度为±30% []。LEYBOLD VAKUUM 公司THERMOVAC Transmitter TTR90- S 在1×10-3~100 mbar，精度是10%[]。我们研制的DL- 6A 型电阻真空计测量范围是10-1~105 Pa，10~5×103 Pa，误差为10%，在小于10 Pa 和大于5×103 Pa 误差为35%。
  1、仪器描述
* O3 L4 s: |2 B+ M1 g/ n8 e% G" c  　　DL-6A型电阻真空计采用ZJ- 52 型规管，定温工作模式。AD 变换精度为0.01%，输出信号V与压强P 的关系如 特性曲线所示。将特性曲线存进单片机，读取V,输出P，由数码管显示压强值。由特性曲线可见，当压强小于1 Pa 与大于104 Pa 时，压强变化很大，对应的信号V 变化很小，因而误差较大。DL- 6A 的原理如 所示。
7 I- Y1 n6 y9 F- w2 {  
- |' i7 D. X' K3 q7 b7 L! T. a5 l  图1 DL- 6A 型特性曲线
( u5 f4 v* d) [8 K6 o+ s  
; _7 o" t. Z; ?$ I2 U9 T0 S) }  图2 DL- 6A 原理图
7 Q$ y& C, d) Y) V  　　规管电阻丝与其它三个电阻组成桥。电桥工作在平衡状态即a，b 两端电位差为0。当气体压强变化时，规管电阻丝温度变化引起电阻值变化，电桥供电压Vcd 相应变化，维持电桥平衡，保证电阻丝温度不变，即定温工作模式。电桥供电压Vcd 与气体压强有关，信号电压V 由ac 两端电压分压后取得，送到AD 变换，再送到单片机。单片机将此电压V 变成压强P,由数码管显示。仪器还设置零点和大气两个调节。在压强小于10-3 Pa与大气时分别按下零点与大气的按键开关，单片机执行两个中断程序，将零点与大气的修正值存入单片机的eeprom 中。
  2、DL-6A型电阻真空计的误差
7 m4 U0 z: o3 u  　　将DL-6A型电阻真空计送中国计量科学院检定，结果如 所示。
7 x7 R2 r! H2 i+ H( m& Q! x7 ]  表1 DL-6A型电阻真空计的测试结果
  
  　　检测时的环境温度为26℃,气体为氮气，规管垂直地平线放置，管口朝下。将上述数值画成曲线，如 所示。
  
  图3 DL-6A校准图
( r7 S; w, L+ z& V  R  3、讨论
  　　(1) 电阻真空计测量范围宽，将电子技术的新成就应用到电阻真空计中，可使其误差减小。DL-6A型电阻真空计测量范围是10-1~105 Pa，10~5×103 Pa ， 误差为10%， 因而会有广泛的应用。
. ]5 A1 X! f/ f  　　(2) 真空计读数在高压强时与规管放置取向有关，垂直放置在大气时压强读数较小，水平放置在大气时，压强读数较大。规管特性曲线是在垂直放置，管口朝下的条件下获得的，如果用户需要在水平放置时工作，可专门为用户安装水平放置的特性曲线，这样保证本文所述的误差。
& {: K5 ]: B. _6 M  　　(3) 测量读数与环境温度有关，在环境温度变化时，应对真空计进行调节，即在压强小于10-3 Pa与大气时分别按下零点与大气的按键开关。
" v0 P: c% v" o* b( I# T/ j  参考文献
  　　[1] 陆国柱，邹望钜，等.量程为760~10- 3 托的对流式电阻真空计[J].真空,1985,(6):49.
7 O2 X# z2 A1 ~7 }6 C& a　　[2] ULVAC，电阻真空计SPX 使用说明书[M].2010.
　　[3] LEYBOLD，Vakuum THERMOVAC Tramsmitler TTR90- s Operationg Manual.