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真空设备产品可分为五大类:) r) c% P, l2 L/ B# n u6 |# n
1 q* q( U+ K; E (1)、真空获得设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。
5 ~* [6 i: \) r% b& p7 t A、机械真空泵:旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。
( o! L. ^% U7 K. j7 b9 n" q7 {% X B、蒸汽流真空泵:水蒸气喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。
0 e* i- ]$ g" n; e9 T0 x; v, G C、气体捕集真空泵:钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。+ ?5 k9 {. q0 [& ]; x+ m
D、真空机组:即由产生真空、测量真空和控制真空等组件组成的各类机组。4 ^3 N2 o! L, s! b
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(2)、真空应用设备~在真空环境下(低于一个大气压的气体状态),应用的各种设备。- n! \2 \; O+ |5 X' p" B
A、真空镀膜机:蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积装置等。
+ u3 q" s) {2 s0 d( r B、真空冶炼炉:电阻炉、电子束炉、电弧炉、感应炉和单晶炉等。" J% W5 f2 t3 i7 @
C、真空热处理炉:淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉、渗氮炉和渗金属炉等。6 }; v; i' W w5 D
D、其它真空设备:冷冻干燥设备、蒸馏设备、提纯设备、浸渍设备、果蔬保鲜设备、运输设备、空间模拟设备、包装机和钢水脱气装置等。 Q( X- x8 }, W) W! A* K6 |/ ~' q$ a+ ~
# |' i4 b% J2 C0 q0 C* f (3)、真空测量仪器一测量低于一个大气压的气体和蒸气压力的仪器。
1 k) }1 N2 e ?3 M0 J9 C" b0 J A、低真空计(测量范围105---102Pa)。
# X k4 x- V) D9 d! ~2 u. P! W B、中真空计(测量范围l02一l0-1Pa)。
& U$ ]/ z9 |- s7 t C、高真空计(测量范围l0-1一10-5Pa)。2 ~" W, d N) Y( W/ Q
D、超高真空计(测量范围< 10-5Pa)。
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/ m" ^: @- b) n; ~0 M! a) j) X9 M+ H- N (4)、真空检漏仪一检测真空系统或元件漏孔的位置或漏率的仪器。包括高频火花检漏仪、卤素检漏仪和氦质谱检漏仪等。7 u8 B- |* O# |0 @# T
3 y5 W- ?% O0 |(5)、真空阀门一在真空系统中,用于调节流量、切断或接通管路的元件。包括插板阀、挡板阀、蝶阀、电磁阀、电磁带放气阀、压差阀、球阀、隔膜阀和调节阀等。 |
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