膜层牢固度问题

qjiu0204 · 发表于 2012-5-16 07:00:29

我是做树脂镜片镀膜的，现到了一家新的公司，做的产品膜层牢固度经常有不好的，该注意的地方我也注意过（如：镜片的洁净度、离子源的工艺参数、镜片的除汽温度、镀膜真空度）还是不行。请求各位大侠帮忙还有那些方面该注意的或是有什么方法能解决的？先谢谢了！
补充：公司的镀膜机（韩国的都6年以上了）从来没有做过大保养，扩散泵的油几乎是没有换过。膜层牢固度与这个关系大不？

bomoaa · 发表于 2012-5-16 11:36:37

镀膜室干净吗？
镀膜速率快点看看

bomoaa · 发表于 2012-5-16 12:07:33

扩散泵返油不？

qjiu0204 · 发表于 2012-5-16 23:57:11

速率现已算快了，第一层SiO2 25埃 ZrO2 7埃

bomoaa · 发表于 2012-5-17 11:33:12

试下调试离子源参数，我们以前是这样做的

zhubinyz · 发表于 2012-6-29 13:37:58

,谢谢！

lkai1014 · 发表于 2012-7-5 08:21:49

真空有多高

rollo_tomasi · 发表于 2013-11-25 00:56:19

这个速率有点快啊！SiO2做到1.5nm/s，ZrO2做到0.3nm/s差不多了

lzh1234 · 发表于 2014-8-16 20:06:08

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