机器出问题了，但是找不到问题点，请各位帮忙看看问题点在哪里，

ophaoadtwf

昨天由于作业员在操作过程中操作不当，导致真空仓内漏水，待我将其处理之后，开始镀膜。可是在镀TI3O5的时候出问题了，水晶监控时候其速率在1.7-2.3A左右，设置的是5A，改变设置RATE也没有用。由于速率太低导致电子枪电流不断上升，我们的镀膜电流时530MA，电流升到快700的时候就跳掉了，且速率还是也没有随着电子枪电流的上升而上升。
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我又试了SIO2的镀膜一切正常，就是TI3O5出现了问题。下面是我排查的问题点
1，将电子枪重新保养一遍
4 I0 y1 F: @6 R) ~5 M) P+ v& b 2. 将水晶更换至新的
3. 将光斑重新调整（因为电子枪坩埚也卡死了，重新校准一次）
9 W) E2 T: @. E 可是问题还是如上解决不了，且经过判定不是以上的问题。可是就是找不到问题点。请各位专家们帮忙看看到底是哪个方面出现了问题。
4 S3 s1 b1 t! h2 X2 G
愿意送50个银币作为赠送，虽然不多，也算一份心意。再次谢过

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8 M" }7 _1 z1 B" _' ]) [+ n( w3 w6 ~  i最佳答案



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( P4 ]' p- w' r6 p 想夜的雨 查看完整内容
把膜料重新换新的吧，由于湿度大，速率上不去

会游泳的小鸟

是否有水气或是露点

tako3007

先確認  IC5 or XTC2,3 密度設定是否正確

嘻嘻嘻123

我也遇到类似的问题，电子枪电流达不到设定值，速率上不去