光学薄膜测厚仪的原理

bomoaa

2007-3-17 01:23 提问者：孙绪伟 | 悬赏分：30 | 浏览次数：2115次
我是一个初学者
2007-3-17 01:24 满意回答
光学薄膜测厚仪 (SpectraThick Series) 的核心技术介绍和原理说明
# v9 m8 H+ A5 ~, T+ A, M) D
  SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量，无需样品的前处理，软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer，glass等substrates上形成的氧化膜，氮化膜，Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器。

测量原理如下：在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光，这时光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。

6 e+ t' B% ?, N" O$ }仪器的光源使用Tungsten Lamp，波长范围是400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这种原理，测量面积的直径大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作为K-MAC (株) 最主要的产品之一，有image processs功能，是超越一般薄膜厚度测量仪器极限的新概念上的厚度测量仪器。测量面积的最小直径为0.2μm，远超过一般厚度测量仪器的测量极限 (4μm)。顺次测量数十个点才能得到的厚度地图 (Thickness Map) 也可一次测量得到，使速度和精确度都大大提高。这一技术已经申请专利。

0 n) Y$ C& ~1 k  T8 h0 z' ]3 h/ oK-MAC (株) SpectraThick series的又一优点是一般仪器无法测量的粗糙表面 (例如铁板，铜板) 上形成的薄膜厚度也可以测量。这是称为VisualThick OS的新概念上的测量原理。除测量薄膜厚度外还有测量透射率，玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻，接触角度 (Contact Angle) 等的功能。
/ i6 h- v/ c/ m2 D( O产品说明
. W: u5 D- O: w* K+ x: K
本仪器是把UV-Vis光照在测量对象上，利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。
' E1 d8 E+ R+ ?+ s
这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场，特别在半导体及有关Display工作中作为

In-Line monitoring 仪器使用。
: A( w) F2 q& E& B9 X3 d2 w
+ H2 e6 b/ M. |2 K& }& b+ |

  g' p9 S( q4 A% M" O: }6 b( n产品特性

! T, p" y2 u& K+ w! g1) 因为是利用光的方式，所以是非接触式，非破坏式，不会影响实验样品。
7 w# D$ m( ^) p+ F( t
5 s" n$ V; v6 ?1 R* t2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。
0 E- d1 z; w# G   
' E' F; l4 e+ f2 g
3) 测量迅速正确，且不必为测量而破坏或加工实验样品。
! ?$ z$ y8 k5 @1 T6 C2 f7 B/ G
4) 可测量 3层以内的多层膜。

5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。

# h: M6 h) Q- r2 j, L. _+ J6) 产品款式多样，而且也可以根据顾客的要求设计产品。

7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ )
4 |8 l% F+ U2 c* x
8)Table Top型, 适用于大学,研究室等
; E# P* J1 p  q+ E4 A% {参考资料：http://alco.testmart.cn/ProductFile/Html/CN/2005/2/3/64a1e3d6-07e1-4d8e-88b7-c03ef1554ca4.html
: c' a$ @2 R. @& D' F  Z2
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回答者： 成都龙泉洛带 | 二级
" l5 S. h9 D3 ?; Q) W0 O0 H擅长领域： 互联网 C/C++ 理工学科
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+ r) t. }- m' s  ?. V" w4 Z) i% m. M提问者对于答案的评价：
9 V# L, {$ Q4 d: |谢谢，这给了我很大的帮助，可还是有点不太具体

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