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2007-3-17 01:23 提问者：孙绪伟 | 悬赏分：30 | 浏览次数：2115次2 S- ?6 x' G6 `7 l
我是一个初学者
& ^ M, U4 d2 x2007-3-17 01:24 满意回答4 b) q; W2 C* p" @" b
光学薄膜测厚仪 (SpectraThick Series) 的核心技术介绍和原理说明+ v% Z; p( E% v# n6 a( o
1 S# A- g3 ~0 k SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量，无需样品的前处理，软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer，glass等substrates上形成的氧化膜，氮化膜，Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器。+ o: Q' Q* H4 J2 [ N
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测量原理如下：在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光，这时光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。4 H7 q. _% G6 p6 @, _1 E' q- L
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仪器的光源使用Tungsten Lamp，波长范围是400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这种原理，测量面积的直径大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作为K-MAC (株) 最主要的产品之一，有image processs功能，是超越一般薄膜厚度测量仪器极限的新概念上的厚度测量仪器。测量面积的最小直径为0.2μm，远超过一般厚度测量仪器的测量极限 (4μm)。顺次测量数十个点才能得到的厚度地图 (Thickness Map) 也可一次测量得到，使速度和精确度都大大提高。这一技术已经申请专利。$ ?* M# w' `) P, L
' W( g9 Q$ z8 C/ v) FK-MAC (株) SpectraThick series的又一优点是一般仪器无法测量的粗糙表面 (例如铁板，铜板) 上形成的薄膜厚度也可以测量。这是称为VisualThick OS的新概念上的测量原理。除测量薄膜厚度外还有测量透射率，玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻，接触角度 (Contact Angle) 等的功能。
% p9 W4 a- [* {' c8 l产品说明, } D6 }; t2 k5 j1 L
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本仪器是把UV-Vis光照在测量对象上，利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。9 _& Q0 G; q% h( b) |/ S
& {- X: B* `" s' H这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场，特别在半导体及有关Display工作中作为
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In-Line monitoring 仪器使用。
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产品特性- J0 [5 ^/ x, |' T
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1) 因为是利用光的方式，所以是非接触式，非破坏式，不会影响实验样品。( B2 I6 r9 w9 j2 a$ E( S
5 g) G) Q4 j0 d6 Y$ [( O- ?: s( `2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。4 f- H! D4 _. I. g
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3) 测量迅速正确，且不必为测量而破坏或加工实验样品。
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4) 可测量 3层以内的多层膜。2 s3 i- g) ?/ E* W7 n8 C
+ y$ _, h) z, K; k2 V/ \5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。3 W% _ _+ _1 r5 [: d0 j0 [& k6 K
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6) 产品款式多样，而且也可以根据顾客的要求设计产品。0 x% ?5 E, E- B2 f) g
, B1 g# H$ [. U$ V
7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ )0 b: N' U1 [* S/ l! i. {! A+ r# V. ~. W
% s! q$ Y9 e) b! i! F2 n8)Table Top型, 适用于大学,研究室等
; _/ X8 G2 h) ]9 t; h参考资料：http://alco.testmart.cn/ProductFile/Html/CN/2005/2/3/64a1e3d6-07e1-4d8e-88b7-c03ef1554ca4.html
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| 评论(1)
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- r. C) B3 H( q* |7 g向TA求助
3 S/ d: D( o4 i4 L/ R/ _ J回答者： 成都龙泉洛带 | 二级* u* n" w0 I1 S9 h9 @$ _) R4 G
擅长领域： 互联网 C/C++ 理工学科' f6 i& q$ C+ }) Q ]
参加的活动： 暂时没有参加的活动
9 l+ ?3 T) u2 V- B提问者对于答案的评价：
$ S6 D w( F/ {- b8 r, ^谢谢，这给了我很大的帮助，可还是有点不太具体, y% }. C) n$ D
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发表于 2012-2-17 15:43:51
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