真空系统故障检修探讨

bomoaa

真空系统故障检修探讨刘芙 张孝彬 张爱丽浙江大学材料系，浙江杭州310027摘　要:一台英国产S-600扫描电镜，开机后扩散泵不启动，检查冷却水系统，发现水压不够，经检查发现是自来水中的水垢积累在冷却水管造成冷却水管堵塞，疏通水管后真空预抽5分钟达不到扩散泵开启要求，但继续抽10分钟，扩散泵打开，加热45分钟后，大阀开启，但高真空仍达不到要求。按照真空维修的顺序，
* o: L8 y" E9 u" l( q0 a# }5 q
关键词:扩散泵 故障检修 开机 维修 真空系统 国产 启动 检查 发现 要求

分类号:　TN16
6 s0 p; L0 q/ z) S+ p6 X* G0 c! t文献标识码：
/ K/ V, y4 D8 `6 w文章编号：
栏目信息：
7 ^( F/ o( P3 }4 O
4 v' }8 B2 u: C' Y相关文献:主题相关
* q2 Z6 N- P. m* T& \9 s: x% o6 b
, P6 @- P% O- V' ?: r% j& i, @
+ d; o8 m# W; L7 P

longmin

參考參考謝謝樓主