油扩散泵抽速不稳定？

fawang

各位大侠，请问油扩散泵如果3年没保养过（仅加油或换油），镀膜室内充气体（固定流量600SCCM），会不会出

% J$ N7 c* \' b$ z* X, e现镀膜室压力时高时低（从2mtorr到3.2mtorr），也就是抽速不稳定这种现象？因为以前没出现过，当

2 H1 d7 U7 B* y% b: V7 {然也可能是漏气，但我想问如果不漏气的情况下会不会出现这种情况？谢谢！
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