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光学薄膜论坛»论坛 › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 绝世难题。。大侠帮忙

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绝世难题。。大侠帮忙

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发表于 2006-5-19 18:03:36 | 显示全部楼层 |阅读模式

材料Ce SiO2
离子源无
膜层用酒精擦拭后龟裂，脱落。
有何对应良策？

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发表于 2006-6-5 02:01:31 | 显示全部楼层

基材是什么材料？

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发表于 2006-7-13 16:37:28 | 显示全部楼层

基片温度是多少？ [s:8]

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发表于 2006-8-27 01:01:10 | 显示全部楼层

真空度,腔体卫生是否达到要求

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发表于 2006-9-22 21:40:07 | 显示全部楼层

Ce 和SiO2的应力不匹配

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楼主| 发表于 2006-9-27 02:01:22 | 显示全部楼层

谢谢各位大大.

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