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用于镀制超薄银膜的一种有效的监控方法; S9 P l; q) S/ [# W! e8 }& v
林炳 于天燕 张凤山(中国科学院上海技术物理研究所，上海200083)) B# v, F: y& B4 U1 B( I4 b
文 摘:银经常被应用于制备诱导增透滤光片，在这种宽带滤光片中，银膜的厚度一般在几个纳米，这样使得精确监控银的厚度很困难。提出一种简单易行的改进方法，通过在蒸发源上方加一个调速挡板，结合晶振膜厚仪，可以获得±0．4nm以内控制精度的超薄银膜。
4 i+ u9 ?# Q1 X* q! f关键词:光学薄膜 超薄薄膜 薄膜技术 膜厚监控
$ Q: K9 W- |' I* q( o, L# J: w- W分类号: O484ISSN: 1005-5630( B3 ]2 W8 K5 d, v. z$ S" V( ^ k
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发表于 2005-12-24 11:50:37
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