用于镀制超薄银膜的一种有效的监控方法

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用于镀制超薄银膜的一种有效的监控方法
# ^: q0 F  Q' A0 Q: @% U- {林炳 于天燕 张凤山(中国科学院上海技术物理研究所，上海200083)
4 e* }5 i  u8 Z0 P. f文　摘:银经常被应用于制备诱导增透滤光片，在这种宽带滤光片中，银膜的厚度一般在几个纳米，这样使得精确监控银的厚度很困难。提出一种简单易行的改进方法，通过在蒸发源上方加一个调速挡板，结合晶振膜厚仪，可以获得±0．4nm以内控制精度的超薄银膜。
+ B1 K& b9 u& n; J+ x* v3 n) P$ G关键词:光学薄膜 超薄薄膜 薄膜技术 膜厚监控
分类号:　O484ISSN:　1005-5630
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