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用于镀制超薄银膜的一种有效的监控方法9 ~, n, ]8 _9 j; w* w/ g
林炳 于天燕 张凤山(中国科学院上海技术物理研究所，上海200083)! ]* }; s) H' ]( X* B
文 摘:银经常被应用于制备诱导增透滤光片，在这种宽带滤光片中，银膜的厚度一般在几个纳米，这样使得精确监控银的厚度很困难。提出一种简单易行的改进方法，通过在蒸发源上方加一个调速挡板，结合晶振膜厚仪，可以获得±0．4nm以内控制精度的超薄银膜。; p3 `3 e/ I' e& a A b
关键词:光学薄膜 超薄薄膜 薄膜技术 膜厚监控, K- M" b: G0 g4 T6 Z/ o
分类号: O484ISSN: 1005-5630
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发表于 2005-12-24 11:50:37
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