推荐可以直接测量薄膜反射率和透射率分光光度计

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6 J) t1 a0 S% |/ z/ l  i- U一种可以同时测量薄膜反射率、折射率、透射率的光学薄膜测厚仪
4 T) |! }" R/ `1 J( ], B产品特征：
· 易于安装
· 基于视窗结构的软件，很容易操作
· 先进的光学设计，以确保能发挥出最佳的系统性能
· 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量
& v; P3 A' `% V& a, [& G* g( x· 独特的光源设计，有着较好的光源强度稳定性
' Q" a0 g5 y8 H* Z· 最多可测量5层的薄膜厚度和折射率
· 在毫秒的时间内，可以获得反射率、透射率和吸收光谱等一些参数
" k: r. @; b+ p# |( z! V) d· 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量
· 系统配备大量的光学常数数据及数据库
! Q8 p1 h! p( p. @  H$ Y· 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析；
· 可升级至MSP（显微分光光度计）系统，SRM成像系统，多通道分析系统，大点测量。
· 通过模式和特性结构直接测量。
· 提供的各种配件可用于特殊结构的测量，例如通过曲线表面进行纵长测量。
· 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。
. J: H/ s6 B: [) h/ h* K+ D
5 u8 `! \1 h7 ?+ U7 i; A1 b( A+ }系统配置
型号：SRT100
4 l7 N& s4 q4 q; y) Z, v检测器：双通道CCD阵列的每个像素2048
+ H3 J$ V2 l" E光源：氘灯和高功率卤素灯
光传输：光纤
载物台：黑色铝合金样品测量平台轻松调整高度，100mmx100mm尺寸
* J" t6 O% k  |5 p* y9 ]通讯：USB
7 u$ h. }( I& Y测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率
软件：TFProbe 2.3
) R7 d  `% M* S$ t! {1 \3 w6 F$ R电脑需要：常规配置
- R. `7 h2 |* `- @8 M& ~电源：110 - 240伏交流电/ 50 - 60Hz的，1.5A
保修：1年
' }% N& \" y, [1 B0 V$ x$ {
2 F$ T2 W- J& e2 @1 ]产品规格
波长范围：250nm到1100 nm
光斑尺寸：500μm至5mm
; l+ J; y, S1 ^; j样品尺寸：100mmx100mm
基板尺寸：最多可至50毫米厚
测量厚度范围*：5nm-50μm
4 x; r/ ^& {( J" k$ z测量时间：最快2毫秒
+ m+ A' _: i% x$ a- I精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
重复性误差*：小于1A
6 b8 f* o  k# H4 f0 S  \
* K" n! _, a/ I产品应用:
半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
$ }8 \2 z( s$ ^( ]1 K0 o0 h! m0 |液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
医学，生物薄膜及材料领域等
. f- m4 N9 t6 d2 {( J; T油墨，矿物学，颜料，调色剂等
医药，中间设备
光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
, E7 O! O* a# @$ ~半导体化合物
在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
9 B  q4 e2 m& n3 x. l0 [% J非晶体，纳米材料和结晶硅

; Y- ~; q) \# O! h我们是北京燕京电子有限公司  
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