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/ `3 R. v8 n! \/ g7 E7 _4 Z, `& {5 e
一种可以同时测量薄膜反射率、折射率、透射率的光学薄膜测厚仪
/ d( v6 B4 v; D产品特征:
2 f* U+ i; t/ [4 t, B* D· 易于安装 ) U- j3 i& Q" |, I% o! _
· 基于视窗结构的软件,很容易操作 ' Q6 E& k* @+ W0 L8 F, }; b$ m
· 先进的光学设计,以确保能发挥出最佳的系统性能
' N, Z, H- b O3 p/ v. u9 \· 基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量 * P" [; E3 R7 U* K3 d$ l
· 独特的光源设计,有着较好的光源强度稳定性 % @* F* v* v/ v( C9 N
· 最多可测量5层的薄膜厚度和折射率 # c& l! [, z( w1 i3 j9 p
· 在毫秒的时间内,可以获得反射率、透射率和吸收光谱等一些参数
9 N' T( e2 H' O$ k! \+ C o- m4 O· 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量 ; u( U/ }$ V) e0 I
· 系统配备大量的光学常数数据及数据库 % H. V5 _% t/ F; f9 O
· 对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析; ( B5 y6 W5 a* u" C
· 可升级至MSP(显微分光光度计)系统,SRM成像系统,多通道分析系统,大点测量。 " i L& |7 m* a1 g
· 通过模式和特性结构直接测量。 1 n+ x/ z# n6 w4 L+ K
· 提供的各种配件可用于特殊结构的测量,例如通过曲线表面进行纵长测量。
5 P7 l& ^4 L; g( R% J8 a· 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。 5 K5 \3 l" a% \- m: h
" F5 R# y7 z, \2 k
系统配置
& C0 G9 }( l" {* N- g型号:SRT100 & X0 g' u6 Q* w7 Y9 j: \
检测器:双通道CCD阵列的每个像素2048 / [! f1 t* {" e
光源:氘灯和高功率卤素灯
7 v; K! @% k. i光传输:光纤
9 k- h" W7 E) ^2 ^载物台:黑色铝合金样品测量平台轻松调整高度,100mmx100mm尺寸
! |7 F" @3 }% R5 ^' ^通讯:USB ) Y: I% N) {' V; d9 J
测量类型:薄膜厚度,反射光谱,透射光谱,折射率 5 \+ b) ~9 N V& \3 R4 A3 ~6 i) \
软件:TFProbe 2.3 / `- U8 C) v7 j( M$ m
电脑需要:常规配置
; ]* ^" m/ r0 ~* I1 I" @9 F电源:110 - 240伏交流电/ 50 - 60Hz的,1.5A
, U* y) Z! Z7 h( J$ m保修:1年 5 O1 V4 |7 C. @/ ]) j6 V
4 t& k* \, N4 V5 A8 z产品规格 , E. D6 ]8 F; O/ D" V
波长范围:250nm到1100 nm ) W' B4 x9 m; F# {5 W
光斑尺寸:500μm至5mm 3 |5 I; q1 c: w1 K
样品尺寸:100mmx100mm
! G+ C$ H4 c: W8 c; F基板尺寸:最多可至50毫米厚 % R" Y" V/ P1 g* G% h* a
测量厚度范围*:5nm-50μm
E( b; e! p: V2 x测量时间:最快2毫秒
$ w& d! ?& r# e# T精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较) $ m! b! n r, [) U5 C0 z z
重复性误差*:小于1A, \+ H% u6 @7 b0 A
( Q/ P" V+ {: E
产品应用: , W' P' ]) j+ ~# j4 Y
半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
& S: S1 p3 u0 D9 q6 {8 G$ g液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..)
# R0 O9 v' j( d) L) p. `% u9 S医学,生物薄膜及材料领域等 + ~% [( s8 [: g; r
油墨,矿物学,颜料,调色剂等
8 l1 C3 V0 ?4 U* \医药,中间设备
: R$ _: Z9 g6 a. \光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
1 e- H. E' B% S7 R, x5 _4 m- Q半导体化合物 # m; J. ~- ~2 L
在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
/ n5 ^2 F0 o1 g" L* X7 l0 D+ W非晶体,纳米材料和结晶硅 & T& N5 a4 q$ p' ^' E
$ U$ Y, o: w6 _) f* L我们是北京燕京电子有限公司
, S$ H. w5 U0 w8 S如有兴趣,请联系 010-58237160 liusp@beijingec.com msn: po663340@hotmail.com
0 n" M* [+ c$ \8 M我公司可以免费给您做样品测试!
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