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推荐可以直接测量薄膜反射率和透射率分光光度计

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发表于 2010-8-10 20:28:04 | 显示全部楼层 |阅读模式

/ Z0 h, f% U" t8 }
) a% F: `9 O; s1 W) B9 ^- P: r( I一种可以同时测量薄膜反射率、折射率、透射率的光学薄膜测厚仪 6 O! z5 q# Y" k8 A7 c* H; N
产品特征: 8 b( Q! E1 o' O5 g" P& P
· 易于安装
2 }  U2 l! [4 K1 l! ?6 [& n6 I· 基于视窗结构的软件,很容易操作
9 b( B- E' m+ }1 G· 先进的光学设计,以确保能发挥出最佳的系统性能 7 `% k. ^" T+ d1 Q1 T
· 基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量 & a, l8 J6 e; \, M# _# ^
· 独特的光源设计,有着较好的光源强度稳定性 7 j7 w9 F7 G" B: K- n3 n1 W
· 最多可测量5层的薄膜厚度和折射率
0 F# R$ P& W' ]7 x! v· 在毫秒的时间内,可以获得反射率、透射率和吸收光谱等一些参数
/ `+ N. ~* S8 v$ U· 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量 ; d3 z# k' f+ ~# J& _% @
· 系统配备大量的光学常数数据及数据库   E) ?/ u+ F! o8 x* |2 n
· 对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析;
; l3 q% o# o0 O9 E% W# F· 可升级至MSP(显微分光光度计)系统,SRM成像系统,多通道分析系统,大点测量。 $ }" ^. r+ R2 {# D- ~
· 通过模式和特性结构直接测量。
$ C) ~% {' }7 L' J5 L& J· 提供的各种配件可用于特殊结构的测量,例如通过曲线表面进行纵长测量。
) q& u, c8 L1 J  M; i: [· 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。 * K7 G* k9 E6 ?$ w: ^
% U# P$ a, [+ B0 _3 t
系统配置
8 d7 u, t+ S5 z/ t5 i0 f型号:SRT100 / d1 H. v' {3 @5 ]( a
检测器:双通道CCD阵列的每个像素2048 : }" z, Y4 r+ v) @0 V3 @+ m- ]8 g
光源:氘灯和高功率卤素灯
' A! U, S; g* G: O; s光传输:光纤 7 I/ R* J7 T; w/ D
载物台:黑色铝合金样品测量平台轻松调整高度,100mmx100mm尺寸
$ M4 w8 H: u2 z& C2 D9 Q通讯:USB
, ^6 Z' M) T! y% g& ~+ L2 k测量类型:薄膜厚度,反射光谱,透射光谱,折射率 2 S0 Z: ?" `) u1 B. l- o1 T
软件:TFProbe 2.3 3 z0 y, X1 g7 K# W$ i& F! Q
电脑需要:常规配置   n. d1 ~- K: ^) q; j  ^0 k8 q$ @
电源:110 - 240伏交流电/ 50 - 60Hz的,1.5A
& |. b( s4 [. c2 |保修:1年   E0 {2 R" e% ^! V

6 |3 a6 h! Q0 ]6 |* [产品规格
7 O1 \9 o& N& N9 k% i* V( L波长范围:250nm到1100 nm
1 q$ i- \( B, Y. U- W光斑尺寸:500μm至5mm
7 g* H# h+ l" A& ~  M1 _( h样品尺寸:100mmx100mm
- S0 H2 u8 P0 X2 Y基板尺寸:最多可至50毫米厚 $ |9 h* z- N# T" G2 b1 h$ B
测量厚度范围*:5nm-50μm
6 [+ _% g, {6 f测量时间:最快2毫秒
4 @+ u, y% |8 _- s/ Z/ g精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较) % j7 x; x3 i- x# \# j: R
重复性误差*:小于1A
7 Z0 v( {; H0 i4 O; d6 L- {  O% W- ?+ B/ Q/ C2 ~/ D$ u
产品应用: + J+ z2 n4 S# n+ d, i9 o* Y5 P& `5 Y
半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
" B% @8 D/ g5 F( N! L0 w液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..)
6 h# F# h' Z3 q9 f医学,生物薄膜及材料领域等
6 t, D6 _% C) t油墨,矿物学,颜料,调色剂等
) _( V/ p  [; ^- p( C* Y( {5 e医药,中间设备 , d% c6 `* E9 M* ]  N
光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..   ~/ L. ]9 A) J! g! y
半导体化合物
2 L" i. W( i/ V" N在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 1 D" N* b. N6 G5 v- a4 h/ k9 {
非晶体,纳米材料和结晶硅 7 {5 m6 O9 ^# C" u) I  g+ k, [
# L$ B! Q3 L& @
我们是北京燕京电子有限公司  8 ~9 J+ @% b( V) C3 Y* R1 W
如有兴趣,请联系 010-58237160  liusp@beijingec.com     msn:   po663340@hotmail.com
" D8 F) \4 A9 ?: m我公司可以免费给您做样品测试!
' \. I$ s; f- O9 R; |                  
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