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发表于 2010-8-11 04:05:01
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我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160 liusp@beijingec.com1 I- R) C9 {( n( t8 z3 |) I
# x5 z+ X7 E8 R/ E$ S测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率 / s, V- o3 N7 s; Z% y+ u- a5 q
r) n3 H! @) S5 @
产品规格
7 T3 |0 u' y9 c( B& {. D波长范围：250nm到1100 nm ( n; `. e# I" I; N
光斑尺寸：500μm至5mm 7 E% \* g+ m5 l+ q
样品尺寸：100mmx100mm
/ g6 W; X" ~4 ~; h; {基板尺寸：最多可至50毫米厚
7 P' h4 a! W( x" ~" p7 F6 |测量厚度范围*：5nm-50μm
/ ?. ^ c, u \: b' j测量时间：最快2毫秒
5 b) A H$ e4 ?: J' X6 G9 I. C: i精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较） " n. s) g- T# T
重复性误差*：小于1A$ E, \3 V9 \) H/ l G
$ {" u- |1 @# _2 X产品应用:
# r$ Z" I! ^: l w+ b4 \: Z" {半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
6 { j6 L6 ^) U% O液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
( B: E& B7 H. l8 J) x医学，生物薄膜及材料领域等 . K5 ^. Z9 V. v, ]5 o2 C
油墨，矿物学，颜料，调色剂等
( }: F2 b9 q! {* t$ ]5 I医药，中间设备 8 o8 ]& U5 q4 ~2 {
光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. 5 S! p6 M3 U& i/ t' r" _
半导体化合物
2 ?! F- Z2 A8 x) |; ~在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
/ o5 F- e) @/ n4 G9 u非晶体，纳米材料和结晶硅 |
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