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高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， p. Z5 | E* k9 ~1 U) m
9 m+ \$ ?& p$ }0 D
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。
4 i/ M$ Q' `3 n$ V0 D0 m' } `. `$ P. o( D n
1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件" L4 [' u5 n5 Z
" G; L" _" z, B6 v应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。
6 n' }6 j( F+ Z* F2 N0 W5 ~3 S0 \4 E2 ]' l, z, ^' J% B O; w
2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求.; A: T5 j& w1 b9 H
6 u1 g* ?+ z: B1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米）6 D9 N# z& T8 Q0 L% ?
2.折射率n: a9 ~7 L$ n& a; `; n2 v
3.吸收系数k$ s1 N4 \0 t( |
4.双折射率) g+ v- |9 ~9 o$ \2 o
5.能隙（Eg）# i% h1 n7 {8 ?: [3 v
6.表面粗糙度和损伤 C: }! M- _* ? Q ^3 D
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式）
B% K& [3 p5 E- z' ~7 n9 r8.薄膜温度特性 m+ {( Z! A5 J% d
9.晶元曲率和薄膜耐压性
( m i) L2 C/ |7 S
; }7 q) I# t# t7 k应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。; Z! z* u: o9 h Q6 W! i. X
R2 R$ z5 r3 {/ T9 A# u$ a+ x5 j1 [. k" o3 P' c4 G% F0 h
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下：
, W5 b/ a/ ~- q7 [. S电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生# J; [& I+ i+ [
邮件：wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com
4 ~3 T& r6 I; z* Q) ?+ z+ Q' }网址：http://www.emdeccn.com |
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发表于 2010-7-20 15:07:11
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