黑色膜问题

fanyushan

我在中频磁控溅射机上（偏压和磁控电源全为中频），基底为抛光的304不锈钢片，厚度1mm左右。做CrC黑色膜，Cr靶+乙炔+氩气。
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1.发现膜层总是黑中带蓝或黑中带黄色，
0 {$ G/ Z5 E8 i6 H5 |1 y0 L5 v2 I2.另外还发现膜层发雾，不明显，但是和标样一比就看出区别来了，
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如何能做到正黑色?我调整了磁控电源的电流和气体，没能找到合适的参数.
发雾是不是Cr打底时，功率大导致的？
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- h- n* H8 D5 P7 D; i' x哪位帮忙分析一下

caiyongzhi

调整下膜层厚度看看，
3 G$ t6 Y9 \" V6 T( C发雾可能是偏压导致基片粗糙