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b& A9 }3 i5 N- ]/ r6 r1 L镀膜机配置(肇庆东荣) 0 p$ j# ~1 p* _7 O
No 名称 规格 数量+ t7 t! Y+ q+ x- X9 L6 g& r
1 真空室 1100mm ( N8 N/ t. j$ X, S2 m
2 电子枪 270度e型 1
; @5 z1 A! [3 v! \3 坩埚 位 4 2 J8 T- v6 S0 ?! [ c$ u; U
4 离子源 霍尔 1 9 {! B8 e! k6 \0 `
5 光控 个 1" w. D. m( U4 Y2 n; t+ N. }
6 阻蒸 个 1 8 b5 U# \3 ^5 y Y; {& |" Y$ Z
7 扩散泵 个 1 " c b/ v& n0 L% v+ G0 }# c
8 罗茨泵 个 1
9 C3 n4 ]1 a1 f8 m; |6 J: j( Q4 c9 机械泵 个 1 - K) l4 ?! m3 _3 R9 v
10 伞具 个 4
- m3 k T! u x+ E/ v11 空气压缩机 个 1
) ~7 _! f/ J$ {$ M. w# n9 ~, k. h12 水泵 个 1 5 T+ _5 } R* V* ~2 f
13 冷却水塔 个 1
8 j* k; M9 n9 O3 d4 e14 维持泵 个 1 |
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窥视卡
雷达卡
发表于 2010-6-22 20:20:16
提升卡
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