薄膜制备新技术

xx_912

【标题】薄膜制备新技术
6 _7 W5 i8 J# I- b【作者】张佐兰
& W3 t, W9 U: \【关键词】薄膜制备 硅膜 电化学腐蚀
1 ?* E, d' z6 M7 H1 ~$ v【刊名】固体电子学研究与进展 1990-10-3
! m  k6 b1 D5 }5 S8 J1 ^【ISSN】1000-3819
3 J1 u' u( m" J# G! D/ I【机构】不详
4 K! d* ?! N% `4 ]8 y" v2 G9 L【摘要】

longmin

謝謝樓主
7 |0 L7 d- v4 d& l( X  \. j