纳米薄膜测量--激光椭偏仪

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椭圆偏振法简称椭偏法，是一种先进的测量薄膜纳米级厚度的方法。椭偏法的基本原理由于数学处理上的困难，直到本世纪40年代计算机出现以后才发展起来。椭偏法的测量经过几十年来的不断改进，已从手动进入到全自动、变入射角、变波长和实时监测，极大地促进了纳米技术的发展。椭偏法的测量精度很高(比一般的干涉法高一至二个数量级)，测量灵敏度也很高(可探测生长中的薄膜小于0.1nm的厚度变化)。 利用椭偏法可以测量薄膜的厚度和折射率，也可以测定材料的吸收系数或金属的复折射率等光学参数。因此，椭偏法在半导体材料、光学、化学、生物学和医学等领域有着广泛的应用。
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产品说明：
多入射角激光椭圆偏振仪EM01-633用于对纳米层构样品的薄膜厚度和632.8nm波长下的折射率n及吸收系数k进行快速、高精度、高准确度的测量。可用于表征：
7 {5 H/ a6 p2 e( r" C7 K$ K* B 1) 单层纳米薄膜；
2) 多层纳米层构膜系；
  s& E( R' `, e0 t9 `4 z3) 块状材料（基底）
4）透明薄膜
* s+ B0 X- x: f5 _) A" M
9 t* q5 O$ c' Z5 P. z7 [EM01-633操作简单、测量快速、精度高、准确度高、稳定性好，尤其适合于科研和工业产品环境中的新品研发及质量监控。EM01-633应用领域涉及纳米薄膜的诸多领域，如微电子、半导体、生命科学、电化学、显示技术、磁介质、金属处理等。此外，高灵敏测量使得它亦可对太阳能电池等非理想的、产生杂散光的粗糙表面进行测量。
EM01-633多角度激光椭偏仪带有针对太阳能电池的测量组件，改组件被设计用于满足晶体硅电池表面氧化硅薄膜的测量需要，可以提供出色的灵敏度、精确度和重复性
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产品性能简介：

  B7 ?: n# Z. P2 m; F. }! Q- J[     产品名称：激光椭偏仪
, x1 {9 ^/ H( I9 g+ \产品型号：EM-633
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( X+ ]5 q: ?  X$ j, w2 [) NMultiple Angle Laser Ellipsometer
多入射角激光椭圆偏振仪
: E& U: U4 C! q. D* M
5 Q6 r1 D' D+ T1 h& C
产品特点：

l        高精度、高稳定性

l        快速、高精度样品校正

/ x+ L1 O( W& k* a+ e. S+ F0 Nl        快速测量、操作简便

: z" W  {# y5 @& n2 D; q- T: ^l        多角度测量
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l        样品可水平或垂直放置
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  u0 _/ N' W9 o8 V. {# El        一体化集成设计

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/ K! N: S1 r: F: {- Q( `: K+ R   椭圆偏振法简称椭偏法，是一种先进的测量薄膜纳米级厚度的方法。椭偏法的基本原理由于数学处理上的困难，直到本世纪40年代计算机出现以后才发展起来。椭偏法的测量经过几十年来的不断改进，已从手动进入到全自动、变入射角、变波长和实时监测，极大地促进了纳米技术的发展。椭偏法的测量精度很高(比一般的干涉法高一至二个数量级)，测量灵敏度也很高(可探测生长中的薄膜小于0.1nm的厚度变化)。 利用椭偏法可以测量薄膜的厚度和折射率，也可以测定材料的吸收系数或金属的复折射率等光学参数。因此，椭偏法在半导体材料、光学、化学、生物学和医学等领域有着广泛的应用。


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产品说明：
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$ C" K% h8 n5 Y# O& @: N. h多入射角激光椭圆偏振仪EM01-633用于对纳米层构样品的薄膜厚度和632.8nm波长下的折射率n及吸收系数k进行快速、高精度、高准确度的测量。可用于表征：
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              1) 单层纳米薄膜；
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- h+ u# s0 j7 r) y, l2) 多层纳米层构膜系；
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3) 块状材料（基底）
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4）透明薄膜
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5 v6 k- `) Q' ?EM01-633操作简单、测量快速、精度高、准确度高、稳定性好，尤其适合于科研和工业产品环境中的新品研发及质量监控。EM01-633应用领域涉及纳米薄膜的诸多领域，如微电子、半导体、生命科学、电化学、显示技术、磁介质、金属处理等。此外，高灵敏测量使得它亦可对太阳能电池等非理想的、产生杂散光的粗糙表面进行测量。

. S8 x/ v) o1 W, M" X2 C EM01-633多角度激光椭偏仪带有针对太阳能电池的测量组件，改组件被设计用于满足晶体硅电池表面氧化硅薄膜的测量需要，可以提供出色的灵敏度、精确度和重复性


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% C1 |  P5 c6 D6 {. r( l产品性能简介：
/ \) ?. i+ T: W# d, g
               

l         高稳定性的He-Ne激光光源、高精度的采样方法，以及低噪声探测技术，保证了系统的高稳定性和高准确度；
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* ^: f8 R1 b% c. l5 K( a- q1 el         样品位置校准可以保证样品调整到最佳的高度和倾斜度，从而获得最佳优信号，没有位置校准很难保证样品在合适位置，信号不能调整到最佳输出状态，测量的重复性和准确定都很难保证。
* M' c. \- V4 h: m% Y( j3 i
l         高灵敏度探测器更适合于绒面太阳能电池片的弱信号测试，可以提高信噪比，保证测量结果的稳定和正确。
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l         采用补偿器技术可测量的△范围为0-360度，没有死角，可确定△的正负号，并可计算出偏振因子P的值，P值可从侧面评估测量结果；针对太阳能电池绒面特征，测量时P值越接近1表明测量结果可靠性越高；没有补偿器的仪器当△在0度或180度附近的测量精度非常低，也就是有两个测量死角，在测量50nm以下薄膜时折射率误差较大，当然也无法计算偏振因子P的值，也就无从判断结果的可靠性。

4 x# h* k$ Y' x, ll         耗材是仪器长期使用的耗费品，并会带来进一步的资金投入，EM01-PV采用了伺服电机来直接带动器件旋转，定位精度高，基本没有损耗，采用皮带传动会有打滑引起的测试稳定性问题，并周期性的带来更换的费用和不便。

( k6 |' f  H; C7 E" }/ o5 e' r( ul         高精度的光学自准直望远技术，保证了快速、高精度的样品校正；
+ l) Y9 I! {" C
" a; i3 B. q( _3 K# o/ Wl         稳定的结构设计、可靠的样品位置校准，结合先进的采样技术，保证了在单入射角度下的快速、稳定测量；

l         分立式的多入射角位置选择，可应用于复杂样品的和绝对厚度的测量；

; _( ^: U8 n& S! n2 i5 ]% il         仪器适应性的结构设计，保证了样品可水平放置或垂直放置，方便进行液相池中的样品测试；

% G% P6 H- ~: j! X9 I8 M6 vl         一体化集成式的仪器结构设计，使得系统操作简单、整体稳定性提高，并节省空间；

% U7 [, n7 ]" f4 i, D- hl         专用软件中预定义了当前一些常见的应用（如半导体、微电子、生命科学等），可方便用户。
& t% ?* `% X3 y1 C, s7 X* S9 [
l         内置模型数据库，免费的软件升级
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规格及主要技术指标：
/ y6 P8 W" y: l' q7 i8 V
EM01技术指标：

激光波长:632.8nm(He-Ne laser)

' T* o% ~3 h" I0 k! w, y激光稳定性:0.1%（rms）
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ψ和Δ的精度:δ(ψ) = 0.08°，δ(Δ) = 0.008°(入射角度为90°)
9 u+ r! T2 K  q7 V" A; M3 H4 F
膜层厚度精度:0.05nm(对于Si基底上65nm的SiO2膜层)
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8 ~6 K3 t9 S5 A2 e# u重复性:0.05nm(对于Si基底上65nm的SiO2膜层)

折射率精度:1x10-3(对于Si基底上65nm的SiO2膜层)
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结构SCA

激光光束直径:1mm

入射角度:手动选择，范围40°-90°，步进5°

6 \, u% x& K' K# g样品方位调整:
; T8 C  x! a4 D, }三维平移调节：±25mm（X-Y-Z）

二维俯仰调节：±4°

' ~4 ?1 @' R% W光学自准直望远系统监视:

2 X1 d8 ?# a. r1 z8 G- L最大样品尺寸:Φ170mm
+ N# V. e1 V" _" l& ?
单次测量时间:200ms
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推荐测量范围:0-2000nm
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外形尺寸(长x宽x高):980x660x430mm (入射角为90º时)

0 z  d1 m# {$ @% f  `dec-kevin@163.com

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