20nm以下的薄膜怎么样提高精确度？

5808renusfly · 发表于 2009-12-9 17:53:35

20nm以下的薄膜怎么样提高精确度？ MDC360控制仪，国产zzs900机器一般输入20nm的厚度后测得的实际厚度都在22nm以上。减少输入值变化很小！请高手指教！

longmin · 发表于 2009-12-9 18:13:44

1.降低蒸鍍速率
2.調整PID使其反應快
3.設定系統的最快的取樣時間

weimao_liu · 发表于 2009-12-10 14:48:51

还得再多摸索几次。

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