电子枪加热多穴坩埚和无氧铜水冷套之间有水痕

fanyushan

各位大侠好，我前些天遇到一个现象，虽然解决了，但不知道原因是什么，大家都来讨论吧。

- F5 n- |4 P8 Q1 @0 N8 q1 T0 t3 F在沉积Ti3O5时，电子枪预熔时没有问题，镀膜运行一会儿，电子枪电流会逐渐减小停止工艺，同时观察到坩埚和底座（无氧铜冷却水套）接触的边缘处有很小的亮斑，就像将灭的灰烬，忽明忽暗，但电子枪和离子源都没有报警，重复工艺任然如此。打开腔体后发现有亮斑的地方有水纹状的东西，但又用酒精擦不掉，后来换了一个位置就ok了。
+ [, h- e+ @) b$ m" n$ V8 [$ @" P1 U9 z
4 d* A" @- C' B; A: T$ \原因分析：1.冷却水套微漏（可能性不大）
2 {. G) z* U+ V5 N          2.坩埚和底座接触不好，冷却效果差（有问题的位置重新擦拭安装没有改善）

longmin

1.真空有無改變
+ ^6 z+ p+ e( f  B; T% r2 s2 ]   有變動的話才有漏

$ ?& v; @( Z) ^# {" Y7 V5 a2.坩埚和底座用菜瓜布去除銅鏽
5 K$ h, P8 f; Y/ O, d' z8 f- [   或者更換新坩埚試同樣位置

fanyushan

真空没有什么变化，用酒精无尘布擦拭后没有解决，后来换了一个坩埚位置同时也更换了坩埚就好了，就是不知道原因是什么，所以拿出来讨论一下