|
|
溅射工艺对金属Nb薄膜微结构及红外反射特性的影响 # c" {' X6 y4 A7 R) ?0 K
1 m( y1 X" ?; q3 S& Z[会议论文] 周珑, 王聪, 杜心康, 陈步亮, 茹宁, 王天民，2006 - 第九届全国X-射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会 ! [' N0 @# y! n- ^- s u4 w" u, u, p+ N
2 r& \( B/ {8 L
本文采用直流磁控溅射方法,改变溅射功率和溅射气压,在不锈钢基底上制备了金属Nb薄膜.分别采用XRD和傅立叶红外光谱仪对不同工艺参数下薄膜结构参数和红外反射谱进行了测试.讨论了工艺参数、晶体结构参数与红外反射特性之... |
本帖子中包含更多资源
您需要 登录 才可以下载或查看，没有账号？注册
×
|
窥视卡
雷达卡
发表于 2009-8-5 03:24:14
提升卡
置顶卡
沉默卡
喧嚣卡
变色卡
抢沙发
显身卡