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红外光学薄膜材料ZnS靶材的研制
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[期刊论文] 《广东有色金属学报》 - 2001年2期- 卢其云, 肖方明, 刘希诚 8 r" l, S5 D, a2 A! u
5 N& W3 X" s6 h% B0 X4 k在pH2~3、温度80~85℃的Zn2+溶液中通入H2S气体,制取高纯ZnS粉.将ZnS粉压制成形,通过高温烧结和快速冷却,可制成符合真空蒸发镀膜要求的ZnS靶材.ZnS靶的化学纯度及密度是影响镀膜质量的重要因素,烧结ZnS靶的表观密度为3.6... |
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