帮忙分析一下原因

yupo54 · 发表于 2009-7-26 01:49:30

我使用射频磁控溅射度Mo薄膜，结果玻璃基片中间的薄膜比较粗糙且附着力非常不好，像粉末一样，手指一抹就掉了一层，四周的成镜面，他们之间的结合处非常不规则，怎么回事？

zyp · 发表于 2009-7-26 04:39:23

1.靶材表面是平的吗？
2.溅射速率或功率有问题？慢点试试

yupo54 · 发表于 2009-7-26 14:54:40

谢谢上楼兄弟，是平面的。

gds · 发表于 2009-7-26 15:26:34

能不能先镀点打底层，增加牢固度？

yupo54 · 发表于 2009-7-27 05:59:51

有可能是薄膜开裂吗

fanyushan · 发表于 2009-7-28 16:55:27

1.基底温度提高，且增加保温时间。2.降低沉积率，改变转夹方式增加膜层均匀性

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