|
|
用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析
3 L3 C& e7 D1 V6 i1 [; ]周佩瑶
2 s& b- n$ f' \0 W0 Q$ e1 t(天津大学物理系)
1 I7 {$ w. g9 V2 I0 ^ ( ^5 R3 H1 ~ I3 U7 C- a; c. j0 c" ?' l
徐玉兰
+ h+ _0 t3 L5 k(首都师范大学)
, O+ ?% ~+ K V" J7 Y
" a$ G7 H+ y, u( J- T( Z! @吴亚非. D$ ~ p. v; N$ [5 h! R% r% ~
(天津大学物理系)% A9 ~8 Z: c5 \7 ?
摘要/ f, Y0 j# p% f. T8 f) k+ C
摘要:分析了国产6JA 型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差,给出了修正系数及实验结果.
' o7 P' }0 p( a; Z6 B$ j- B3 P0 T关键词:干涉显微镜,薄膜,厚度,波长,误差. Y3 [% L# S/ w, s2 ~
中图分类号: TH742 |
|
窥视卡
雷达卡
发表于 2009-7-22 18:19:39
提升卡
置顶卡
沉默卡
喧嚣卡
变色卡
抢沙发
显身卡