氧化锌薄膜的制备技术

gds · 发表于 2009-7-19 22:55:52

氧化锌薄膜的制备技术
李勇马书懿李锡森蔡利霞西北师范大学物理与电子工程学院,甘肃兰州730070摘　要:介绍了氧化锌薄膜的制备方法，主要有物理和化学两种方法。物理方法有：分子束外延法（MBE），脉冲激光溅射沉积法（PLD）以及磁控溅射法；化学方法有：溶液镀膜法和各种化学气相淀积（CVD）。重点讨论了磁控溅射法的优缺点及展望。[著者文摘]

关键词:脉冲激光沉积化学气相淀积磁控溅射法
分类号:　O472.3[著者标引]文献标识码：文章编号：栏目信息：研究与探讨
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cgsolar · 发表于 2009-8-8 16:55:12

氧化锌薄膜的制备技术

codesert · 发表于 2009-8-25 19:37:39

氧化锌的，好啊～～

junjia529 · 发表于 2009-10-19 14:17:19

氧化锌，好东西

lizhil · 发表于 2010-6-27 05:09:08

关于溅射的要学习下

灵灵糖 · 发表于 2010-6-30 18:00:40

好个毛啊就写这么点

xj2008cg · 发表于 2011-7-14 14:21:59

好资料，谢谢楼主

ww040109117 · 发表于 2011-7-15 01:32:40

很实用的资料

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