|
新型红外增透膜和保护膜7 ~* ~) t! q5 f( G* o5 o
刘正堂 张贵锋摘 要:介绍了类金刚石碳(DLC)膜和碳化锗(GexC1-x)薄膜的沉积方法、特性在红外光学镀膜中的应用进展。" ?- _7 T8 T: c8 D, X
, p0 x+ E2 j$ y) k9 i
关键词:红外增透薄膜 保护薄膜 类金刚石碳膜/ ?- @! V1 H# ~' p' o
分类号: TN213文献标识码:文章编号:栏目信息:; s# c& [' D6 m; \
相关文献:主题相关 |
本帖子中包含更多资源
您需要 登录 才可以下载或查看,没有账号?注册
×
|