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范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用0 d! G5 n0 a- Z/ ^/ m& m, }% p
朱俊杰[1] 刘磁辉[1] 林碧霞[2] 谢家纯[1] 傅竹西[1][1]中国科学技术大学物理系 [2]中国科学院结构分析重点实验室，安徽合肥230026摘 要:近年来，随着对宽禁带半导体材料，氧化锌薄膜研究的快速发展，对其电学性质的研究也显得尤为重要。主要介绍范德堡方法在ZnO薄膜电学性质测量中的应用，并对初步测量结果作简要的讨论。( T2 x/ I2 r1 o, a; I! v7 W9 I
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关键词:范德堡方法 ZnO膜薄 欧姆接触 霍尔效应- x9 _3 G$ J5 o J4 i1 F3 a0 L/ e
分类号: O472.3文献标识码：文章编号：栏目信息：研究论文
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发表于 2008-12-26 03:15:11
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