求教有关磁控溅射RF电源的问题

jzliuzhen

我们的镀膜机是磁控溅射的，射频电源是SEREN公司的，最大功率300w。镀Si的时候我们用功率模式控制，电源面板有一行显示的是 DCV 50V，不知道这个ＤＣＶ指的是什么？跟溅射速率有没有关系？还有，我们镀B4C的时候，发现溅射不出来材料，是不是跟这个DCV太低有关系啊？
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- ]2 i! l& F' `4 W" T哪位了解的请赐教，不胜感激！