UV-IR的脱膜问题

jiaotao3289 · 发表于 2008-10-19 15:20:59

各位大哥，遇到点问题想请大家帮忙，我们镀的UV-IR时脱膜，我们用的是磁控溅射，磨料是Nb5O2和SIO2，基底材料是B270和青板，厚度为1.0和1.1，特别是在切割之后更容易拖，我们是在一面镀UV一面镀IR，脱膜之后是全脱，基底上的膜层全掉了。请大家赶紧给小弟提点意见，不胜感激！

章钱国 · 发表于 2008-10-24 03:49:47

把真空底调高点，离子源轰长点看看，不看的话，就要改膜系设计了啊，

龙之吻 · 发表于 2008-11-4 13:23:56

应力问题，我有办法

jiaotao3289 · 发表于 2008-11-5 02:10:19

楼上的大哥有啥办法，教教我，急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！急！

chris_yun33 · 发表于 2008-11-11 16:04:52

DDDDDDDDDDDDDDDDDDDD

valle · 发表于 2009-7-14 16:16:20

估计是用ras机，基板是否干净？第一层材料是什么？

weimao_liu · 发表于 2009-12-19 20:26:13

你的镀膜工艺需要改进一下。

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