设为首页收藏本站

签到

光学薄膜论坛»论坛 › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › MOCVD工艺中的载气

返回列表发新帖

查看: 1523|回复: 2

[求助] MOCVD工艺中的载气

1 主题	1 主题	1 主题

积分: 502

发表于 2008-5-1 22:42:51 | 显示全部楼层 |阅读模式

载气在MOCVD工艺中有稀释前驱体的作用，请问各位高手，前驱体被稀释后有什么好处？

回复

使用道具举报

1 主题	1 主题	1 主题

积分: 502

楼主| 发表于 2008-5-1 22:43:47 | 显示全部楼层

请各位大侠指点一下，在下不胜感激！

回复

使用道具举报

2 主题	2 主题	2 主题

积分: 328

发表于 2008-10-20 16:24:59 | 显示全部楼层

避免在送气管路中凝结，使之顺利通入真空室。

回复

使用道具举报

返回列表发新帖

Archiver|手机版|小黑屋|光学薄膜论坛

GMT, 2026-1-12 , Processed in 0.025727 second(s), 22 queries .

Powered by Discuz! X3.5 Licensed

© 2001-2025 Discuz! Team.

快速回复 返回顶部 返回列表