关于镀膜机精度的问题

omfalio

请高手指教：
) u3 A6 S1 T: m
请问现在的镀膜机，其膜厚精度能达到1%么？

' |7 l" @0 h+ c3 J0 S2 _' ^就是说我100nm的膜加工出来的厚度是（99nm，101nm）之间。

longfeichi

应该可以呀!我是搞离子蚀刻和镀膜的呀!工艺要求比较高!如离子源,RF,气体,电子等都有关系呀!

yls

那要看你的控制方法！！！！！！！！！

引用第2楼yls于2008-03-03 11:56发表的  :
* c: g1 P  p3 {; _+ `那要看你的控制方法！！！！！！！！！

是的,国产机器一般很难控制这么准确,与很多因素有关,如挡板打开/关闭时间,即使选用国外监控设备,国内机械也很难作到这么准确.

sbb

IAD加个晶振可以，不过测量结果不好说

xbimr

应该可以，主要取决于系统

leicd

有谁可以提供相关设备信息，请发布，谢谢！