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光学薄膜论坛»论坛 › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 磁控溅射起辉不正常

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[求助] 磁控溅射起辉不正常

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发表于 2007-12-19 15:29:41 | 显示全部楼层 |阅读模式

我在做的过程中,不仅靶起辉了,连套筒也起辉了,是什么原因啊?
有人说人漏电,应该怎么解决啊?

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发表于 2006-1-6 05:41:53 | 显示全部楼层

首先看你靶材周围的绝缘性,然后检查你靶材的电位和套筒的电位

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发表于 2005-12-29 13:07:58 | 显示全部楼层

套筒的材料也要注意

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