薄膜测厚仪

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科美仪器(昆山)研发有限公司是韩国科美公司在中国设立的分公司.
$ a& J& D3 K6 H2 e- v1996年以来，科美在半导体，平板显示器，电子物质，生命科学和化学分析上，研发和提供了独特的，先进的解决方案。科美，作为测量和分析技术市场上的领头和动力，从它创立以来，已经取得了非凡的发展，并以它突出的表现得到了世界范围的认可。科美一直设法关注客户的需求。我们不仅仅为我们的客户提供最好的产品和服务，我们还听取他们的意见，对他们目前的、未来预计的需求作出最快的答复。为了跟上新的挑战和机会，科美潜心研究和发展。我相信这是我们公司可以在光学核心成分， MEMS和其他许多分析设备上快速发展并不断进步的潜在动力。在我们生产研发的每一项产品上，科美努力通过显著的特色，较高的规格尤其是卓越的质量和技术来争取领先的位置。科美将不断努力为这一行业提供更多完整的测量和分析解决方案。   
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光学薄膜测厚仪（膜厚仪） (SpectraThick Series) 的核心技术介绍和原理说明
SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量的膜厚仪，无需样品的前处理，软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer，glass等substrates上形成的氧化膜，氮化膜，Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器(膜厚仪)。
测量原理如下：在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光，这时光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。
仪器的光源使用Tungsten Lamp，波长范围是400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这种原理，测量面积的直径大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作为K-MAC (株) 最主要的产品之一，有image processs功能，是超越一般薄膜厚度测量仪器极限的新概念上的厚度测量仪器。测量面积的最小直径为0.2μm，远超过一般厚度测量仪器的测量极限 (4μm)。顺次测量数十个点才能得到的厚度地图 (Thickness Map) 也可一次测量得到，使速度和精确度都大大提高。这一技术已经申请专利。
K-MAC (株) SpectraThick series的又一优点是一般仪器无法测量的粗糙表面 (例如铁板，铜板) 上形成的薄膜厚度也可以测量。这是称为VisualThick OS的新概念上的测量原理。除测量薄膜厚度外还有测量透射率，玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻，接触角度 (Contact Angle) 等的功能。

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ghij703

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kmac

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