单枪两种材料均匀性控制问题

wn_li

我在南光800的机器上镀增透膜，三层膜系，氧化铝、氧化锆、氟化镁，单枪增发，氧化锆的均匀性很好，但氧化铝的均匀性较差，这样修正挡板就不能再修了。请问大家有没有办法解决这一问题。国产的机器总是令人头疼。谢谢大家帮帮忙。