求救!!各位高手前辈请进~~~~在线等啊

yada2008 · 发表于 2007-9-8 23:47:55

十万火急!!
现在生产中遇到一棘手问题,描述如下:
   我司镀膜机为成都真空机械厂ZZS-1100型,一共两台.今年三月份交付使用.回来时用冷镀的方法做过AR膜(用的是SIO2和TIO2的规整膜系.我们的产品为塑料镜片VGA手机镜头所以是用的冷镀)和一些单层增透膜,所用镀膜材料为:SIO2,MGF2,TIO2,ZRO2.产品均未出现过脱膜或者膜强度不够的情况;
   后有一阵子没有做AR膜(大概有两个半月时间吧),当再次用SIO2和TIO2镀制产品的时候发现脱膜,膜层很不牢用试膜胶带一拉就全掉!!而且两台情况一样!而且这四种药材里只有SIO2脱膜(我用同样的K9玻璃同样的真空度同样的温度把每一种材料都单独镀了做强度测试出来的)!!于是做了一系列的排除试验:
   1,先是怀疑机器是不是有返油; 彻底清洗之!结果还是脱(两台机情况还是一样!!郁闷了..)
   2,然后是怀疑是不是SIO2受潮了；购买新材料彻底更换之后一试。。还掉~~于是把以前的材料送到另外一家公司用同样的镀膜机同样的镀膜环境镀同样1/2波长,结果不脱膜!!说明材料没有问题.
   3,于是在同样的真空度,同样的基底,同样的膜料的情况下分别用常温,100度以下和280度镀了1/2波长的单层SIO2;  结果只有在镀膜温度280度的时候才不脱膜!!不知道为啥....
   4,要说明一下的是:我们镀膜车间里的温湿度!!有空调但是除湿不明显,一般在白天生产时湿度在86%以上!早上上班的时候都超了100%!!! 温度控制在22-24度之间.我们现在只有白班,晚上要停机,在早上开机时都用了约40分钟的时间用180度的温度烘过镀膜室.

现在问题是用什么方法可以解决这个问题?有没有那位朋友遇到过类似的情况?为啥连MGF2在同种情况下膜强度都很好,SIO2却不行?拜谢各位了......在线等待

显示全部楼层 · 发表于 2006-1-6 05:41:53

1.基底镀膜前清洗干净了吗?还有镀膜速率控制好了吗?
2.是不是应力太大造成的?

yada2008 · 发表于 2007-9-11 22:51:21

在镀MGF2和SIO2基底用的都是一种材质的K9玻璃，统一处理的应该没有问题，因为在镀MGF2的时候不脱膜！！
在镀SIO2的时候从设备一回来到现在都是用的10埃每秒~~今天试了一下14埃每秒还是脱！郁闷。。。
应力的大小我要如何才能测得呀？怎么才能知道我所用的材质相应的应力是多少？望赐教，谢谢了。。。

awoo · 发表于 2007-9-12 03:19:16

可能是由于应力造成的，一般蒸镀的膜与基片的附着力都不是很高，而且膜质比较疏松，室内湿度又大，这样镀出的膜很容易吸收水汽，导致镀出的膜脱落。
提高镀膜温度可以使得沉积到基片上膜的微粒有足够的能量迁移，这样沉积的薄膜致密度提高，张应力减小，同时稳定性也变好了，不易吸附水汽而脱落。
如果想在低温下镀的膜不脱落，可采取的办法：
1 提高镀膜速率；(一般蒸镀速率提高，薄膜的密度会增加，不过也会带来一定的问题)
2 降低真空室的湿度，可考虑买一台除湿机。
这只是我的个人观点，仅供参考。

xhdyxl · 发表于 2007-9-12 21:03:47

还不快买溅射镀膜机,现在大公司都用手机外壳,镀视窗增透膜.

yada2008 · 发表于 2007-9-14 22:22:48

引用第3楼awoo于2007-09-11 19:19发表的 :! S# x3 u: J9 }" f/ w4 k8 n5 \- H- A
可能是由于应力造成的，一般蒸镀的膜与基片的附着力都不是很高，而且膜质比较疏松，室内湿度又大，这样镀出的膜很容易吸收水汽，导致镀出的膜脱落。$ }/ K5 g/ P5 c+ E+ k3 e, s- c
提高镀膜温度可以使得沉积到基片上膜的微粒有足够的能量迁移，这样沉积的薄膜致密度提高，张应力减小，同时稳定性也变好了，不易吸附水汽而脱落。
^+ c! ^: Z0 {% l9 n( U! T' t如果想在低温下镀的膜不脱落，可采取的办法： i3 [2 v" X) X7 _' Q# d
1 提高镀膜速率；(一般蒸镀速率提高，薄膜的密度会增加，不过也会带来一定的问题)
1 |' k2 ^- n+ ~- N: ^2 降低真空室的湿度，可考虑买一台除湿机。
2 B2 l/ r: W1 |9 }; K5 i0 f.......

先谢谢这位朋友了!
我已经试过把SIO2的镀膜速率提高到14埃每秒了,但是效果不怎么好.现在公司已经在采购除湿机了,哎.....希望这个问题能得到解决.

再次感谢你的回答

hanlei5144 · 发表于 2007-9-19 16:13:41

前面已经有这么多的好建议了，我觉得可行，我没有用过蒸镀，所以没有啥发言权，不过我觉得加离子源也许会有帮助脱膜现象吧。降低湿度也很有必要。…………不过从成本控制来说，你还得和老板商量了
呵呵

zhangkai885 · 发表于 2007-9-21 17:00:21

如需要磁控溅射设备，我公司可以提供。联系电话：13478261932。QQ：281853564。

cheng003 · 发表于 2007-10-11 03:46:23

可以延长镀前烘烤时间及镀后烘烤时间，同时考虑镜片前清洗有无问题

caodecd · 发表于 2007-10-11 18:12:35

哈哈！我是成都真空机械厂的设计员！当然我现在没有在成都真空机械厂上班了！也就是4月出来的！所以你的设备就是我走的最后一台了哈！呵呵！我不是很清楚究竟在工艺上的问题！这样的话你可以问我们的质检科三。电话-4789找潭科长！只有他懂工艺这些问题！！如果是机械硬件出问题！我倒是可以帮你哈！！我连你机器里的一更毛我都清楚哈！呵呵！提醒一下！机械的公转一直不合理哈！容易产生跳动，使镀膜不均匀哈！注意检查里面的齿轮容易坏！走的这批齿轮用的T8材料！哎！就是没有编成你们这台的说明书哈！我当时手上还有10台左右的说明书都没有写就整北京33所的磁控践射！设备刚开始呢！结果还把老板炒了！哈哈！想想这些年给成都真空机械厂做的贡献还真大！！起码所有说明书是我写的！真空系统！箱体、轰击啊轰烤啊！！相信你那台也是搬的我的副本哈！厂标还是我设计的！什么cdv代表成都真空！现在想来他们真的是怎么想的！搞不懂哈！哎！！

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