氮化铝薄膜的光学性质(英文)

氮化铝薄膜的光学性质(英文)

【作者】  刘文. 王质武. 杨清斗. 刘毅. 卫静婷. 唐伟群. .  
' a8 [/ ^0 L/ E6 r9 \【刊名】   硅酸盐学报    2007年05期    编辑部Email  
《中文核心期刊要目总览》来源期刊   “中国期刊方阵”入选期刊   ASPT来源刊   CJFD收录期刊  
【机构】  深圳大学光电子学研究所 广东省光电子器件与系统重点实验室. 光电子器件与系统教育部重点实验室. 深圳大学师范学院. 深圳518060.  
【关键词】   氮化铝. 石英衬底. 折射率. 吸收系数. 透射光谱.  
& u" C7 w, y" k4 X) Q0 R【聚类检索】  同类文献   引用文献   被引用文献   
【摘要】  采用直流磁控溅射法在石英衬底上制备了氮化铝(AlN)薄膜。用 X 射线衍射仪分析了薄膜结构。利用椭圆偏振仪和紫外/可见/近红外分光光度计对 AlN 薄膜进行了相关光学性能的研究,获得到了薄膜的折射率随波长的色散关系曲线。在波长为 250～1 000 nm,薄膜的折射率为 1.87～2.20。结合透射光谱图,分析了 AlN 薄膜的光学性质。结果表明:利用磁控溅射方法可以获得(100)择优取向 AlN 薄膜;AlN 薄膜在 200～300 nm 远紫外光范围内具有强烈的吸收,在 300～1000 nm 波长范围内具有良好的透过率。  
【光盘号】  SCTB0706